氧化铟锡靶材.docx

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1、ICS 77.150.60OB中华人民共和国国家标准GB/T20510XXXX代替GB/T205102017氧化锢锡靶材Indium-tinoxidetarget（预审稿）-X发布-X实施国家市场监督管理总局77国家标准化管理委员会发布-VZ-、刖百本文件按照GB/T1.1-2020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件代替GB/T20510-2017（ITO）。与GB/T20510-2017相比，主要变动如下：a）更改了适用范围：将“适用于质量比为In2O3：SnO2=90:10的ITOw更改为“适用于由In2O3和SnO2按照一定比例混合的TTOw（见第1章，

2、2017年版的第1章）。b）删除了开尔文电桥的术语（见第2章，2017年版的1）。c）增加了规范性引用文件内容（见2,2017年版的2）。d）增加了相对密度的内容（见3.2,2017年版的3.2）。）更改了分类方法，将按照密度分类方法更改为按照氧化锢和氧化锡的配比分类和牌号（见4,2017年版4.1）。f）更改了主要化学成分的要求（见5.1.1,2017年版4.2.1）。g）更改了物理性能的要求（见5.22017年版的4.3）。h）更改了物理规格的内容（见5.3,2017年版的4.4）。i）将表面质量更改为外观质量（见5.4,2017年版的4.5）。j）增加了内部质量（见5.5）；k）更改了化

3、学成分分析方法（见6.1,2017年版5.1）。D更改了检验项目的内容（见6.3,2017年版5.3）。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由中国有色金属工业协会提出。本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。本文件起草单位：先导薄膜材料（广东）有限公司、株洲冶炼集团股份有限公司、广西晶联光电材料有限责任公司、芜湖映日科技有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、株洲火炬安泰新材料有限公司、深圳市中金岭南有色金属股份有限公司、成都中建材光电材料有限公司、上海大学、广东欧莱高新材料股份公司、河北恒博新材料科技股份有限公司、广东先导稀材

4、股份有限公司、福建阿石创新材料股份有限公司。本文件主要起草人：本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：2006年首次发布为GB/T20510-2006,2017年第一次修订；一一本次为第二次修订。氧化锢锡靶材1范围本文件规定了氧化锢锡靶材（以下简称ITo）的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输与贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于由In203和SnO2按照一定比例混合的氧化锢锡靶材（简称110）,是制作透明导电薄膜的核心材料。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件

5、，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T5163烧结金属材料（不包括硬质合金）可渗性烧结金属材料密度、含油率和开孔率的测定GB/T1551硅单晶电阻率的测定直排四探针法和直流两探针法GB/T13298金属显微组织检验方法GB/T16535精细陶瓷线热膨胀系数试验方法顶杆法GB/T6569精细陶瓷弯曲强度试验方法GB/T38389ITO化学分析方法SL499钻孔应变法测量残余应力的标准测试方法GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判断3术语和定义下列术语和定义适用于本标准。3. 1表观密度density每单位体积物质的质量。3.2相对密度relativedensityITO

6、表观密度与理论密度的比值。ITO质量百分比：Sn（）2=90:10时，ITO理论密度以7.155gCnV计算。ITO理论密度以7.143gCnrt十算。ITO理论密度以7. 134gCnI计算。ITO理论密度以7. 131gcm计算CITo理论密度以7. 115gctf计算。ITO理论密度以7. 103gcm3计算。ITO质量百分比I1)3:SnO2=93:7时,ITo质量百分比InQ：SnO2=95:5时,ITo质量百分比I1)3：SnO2=97:3时,ITO质量百分比I%O3：SnO2=98:2时,ITO质量百分比InO,:SnO2=99:1时,2ITO分为平面靶和管状靶，ITO按InO3

7、和SnO2的比例分为六个牌号：ITo90、ITO93、2ITO95、IT097sIT098xIT099o5技术要求5.1 化学成分5.1.1主要成分5. 1.1.1牌号IT090的质量比InOrSnO,=90:10,Sno,的偏差为0.5。26. 1.1.2牌号IT093的质量比1蛔：Sna=93:7,SnO2的偏差为0.4。7. 1.1.3牌号ITO95的质量比1电。3：SiA=95:5,SrA的偏差为0.3。8. 1.1.4牌号ITo97的质量比IrVYSrA=97:3,SnO?的偏差为0.3。9. 1.1.5牌号ITo98的质量比1电。3：Sn(=98:2,Sn(的偏差为02。10. 1

8、.1.6牌号IT099的质量比ln203:SnO2=99:1,Sn(的偏差为0.1。5.1.2杂质成分ITO的杂质成分应符合表1的规定。表1ITo杂质成分杂质含量，不大于(X10)%FelSiCuPbCdNiCrTl1510155555555.1.3其他需方如对ITO的氧化锢和氧化锡的质量比或杂质元素有特殊要求时，由供需双方商定。5.2 物理性能5. 2.1ITO的物理性能应符合表2的规定表2ITO物理性能牌号相对密度(%)电阻率(*10*cm)线膨胀系数CC)抗弯曲强度(MPa)残余应力(MPa)平均晶粒尺寸(Hm)IT090299.61.6921501208099.21.978080303

9、0IT09999.03.5728030405.2.2ITO物理性能如有其他要求，由供需双方商定。5.3 物理规格ITO分为平面型靶材和管状型靶材，其规格尺寸及其偏差由供需双方商定。5.4 外观质量5.5 .1ITO表面粗糙度Ra1.Oum05.5.2 ITO呈黑色或灰黑色，颜色应均匀。5.5.3 ITO表面应平整清洁光滑，无指痕，无外来夹杂物污染物。5.6 内部质量ITO应无裂纹，气孔直径不大于03mm,单位面积气孔个数5cmo6试验方法6.1 化学成分分析方法ITO化学成分的分析方法按照GB/T38389的规定进行。6.2 物理性能检验方法6.2.1 相对密度检验方法ITO的表观密度的测定按

10、GB/T5163的规定进行，再根据表观密度和理论密度计算得到相对密度。6.2.2 电阻率检验方法ITO电阻率的测定按GB/T1551的规定进行。6.2.3 线膨胀系数检验方ITO线膨胀系数的测定按GB/T16535的规定进行。6.2.4 抗弯曲强度检验方法ITO抗折强度的测试按GB/T6569的规定进行。6.2.5 残余应力检验方法ITO残余应力的测定按SL499的规定进行。6.2.6 平均晶粒的测定按GB/T13298的规定进行。6.3 物理规格ITO的物理规格用相应精度的量器测定。6.4 外观质量ITO的外观质量用目视法或相应的仪器检验。GB/T20510XXXXITO的内部质量用超声波无

11、损检测。7检验规则7.1 检查和验收7.1.1 ITO应由供方质量技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本文件或订货单的规定。7.1.2 需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验。如检验结果与本标准或订货单（合同）的规定不符时，应在收到产品之日起30天内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样在需方由供需双方共同进行。7.2 组批ITO应成批提交检验，每批应由同一生产工艺、同一批氧化锢锡粉生产的产品组成。7.3 检验项目7.3.1 每批ITo应进行化学成分、外观质量的检验。7.3.2 每批ITO应进行物理性能之密度、电阻率的检验。7.3.3每件110应进行物理规格、外观质量的检验。7

12、.3.4ITo的电阻率、线膨胀系数、抗弯曲强度、残余应力、晶粒尺寸按型式试验要求进行检验，正常生产时，按季度周期进行型式检验。7.4仲裁取样和制样7.4.1化学分析仲裁样的采取和制备ITO化学分析仲裁样的采取和制备方法由供需双方商定。7.4.2物理性能检验仲裁样的采取7.4.2.1表观密度检验试样的采取：从产品中按片（件）随机抽取10%样品，但不少于1（件）,沿靶材的中心线，用线切割机等距分取20InmX20m的样品34块，用超声波清洗器清洗干净后进行表观密度的测定。7.4.2.2电阻率检验试样的采取：从产品中按片（件）随机抽取10%的样品，但不少于1（件）,用线切割机沿ITO的边切割长12O

13、nIm的矩形长条10个，用超声波清洗器清洗干净后进行电阻率的测定。7.4.2.3线膨胀系数检验试样的采取：从产品中按片（件）随机抽取10%的样品，但不少于1片（件）,用线切割机沿110的边切割下与标准样品尺寸一致的长条5个，用超声波清洗器清洗干净后进行线膨胀系数的测定。7.4.2.4内部质量检验试样的采取：将密度测试后检验样品洗净并用纸吸干后测试。7.5.1ITo检验结果的数值修约和修约后数值的判定按GB/T8170中的有关规定进行。7.5.2ITO的化学成分、物理性能、内部质量的检验结果与本文件的规定不符时，该批判不合格。7.5.3ITO的物理规格、外观质量与本文件的规定不符时，该片（件）判

14、不合格。8 标志、包装、运输、贮存及随行文件8.1 包装每片ITo应在洁净环境下采用真空包装，并采用相应的防震措施。8.2 标志每片（件）ITo的包装上应标注注册商标（或企业标志），产品名称、批号及产品合格标志。8.3 运输与贮存ITO应存放干燥阴凉的库房。运输及贮存过程中应注意防震、防潮、防压、防止二次污染。8.4 其他需方如对ITo的标志、包装、运输与贮存有特殊要求时，由供需双方商定。8.5 随行文件每批ITo应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期外，还宜包括：a）质量保证书： 主要技术参数； 产品特点（包括制造工艺及原材料的特点）； 对产品质量所负的责任； 产品获得的质量认证及带供方技术监督部门检印的各项分析检验结果；b）产品合格证： 检验项目及其结果或检验结论； 批量或批号； 检验日期； 检验员签名或盖章。c）产品质量控制过程中的检验报告及成品检验报告；d）产品使用说明：正确搬运、使用、贮存方法等；e）其他。9 订货单内容需要可根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货