国内外超净高纯氢氟酸产能调研.docx

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1、表1国内外超净高纯电子级氢氟酸产能调研表（2023-7）产厂家产能（万吨/年）产品等级技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS匕集团凯圣氟三电子材料公30,71.50.8自创2023年6月已进行年产3万吨电子级氢氟酸扩建工程环境影响报告书审批前0.7万吨/年的电子级氢氟酸根底上，再新建2.3万切年电子级氢氟酸装置。方新建一套1.5万吨/年电子级HF生产装置，配套建设2万吨/年的无水氟化氢4新建一套0.8万吨/年UP-S级HF生产装置。2023年初已发布了巨化股份关于;6000吨ppt电子级氢氟酸固定资产投资工程的投资公告。工程采用引进技术给系统、HF纯化系统、稀释循环过滤系统、成品过渡系统和

2、成品贮槽系统等定资产投资8300万元，预计2023年10月建成投产。（注：70%的PPt电子级于LED晶圆生产，目前PPl级产品国内根本靠进口J;氟化0,5苏威浙江蓝苏氟化由浙江蓝天环保高科技股份、苏威氟控股（亚太）合资建立的中外册资金4000万元。公司于2006年Il月19日开工建设2万吨/年无水氟化氢一9月6日投产。选址在衢州高新技术产业园区华阳路39号。电子级氢氟酸工:司的先进生产技术，总投资3500万元，其中环保投资170万元。公司于202建设，2023年12月投入试运行。产品用于太阳能行业。苏威SoIVay在华氢据2023年浙江省工业转型升级财政专项资金工程汇总表衢州市区）歹h工不万

3、元，审计后投资额1106万元，2023年正在申请省工业转型升级财政专项资金64万元。工程为年产5000吨电子级氢氟酸工程，可生产UP级、UPS级电现有电子级氢氟酸等级有四级（从低到高分别为AR级、EL级、UP级、UPS自有技术为AR级和EL级，蓝苏公司生产的电子级氢氟酸为UP级和UPS级套条件均落实，并已完工投产，质量己到达设计标准。!氟化工业日本StelIa在华氢氟酸企业。W化工.2003年11月成立（金华市武义县吉年胡处工业区），日本森阳化学工业株式Chemical）在华氢氟酸企业。无水氟化氢产能15000吨。并于2004金ISO19001-2000,于2005年1月取得IScH4001认

4、证。2023年2月森田化学半增产设备完成。森田化学还与住友合资在张家港建有800吨/年的六氟磷酸悝I晶瑞化学公0.70.7苏威位于苏州市吴中经济开发区澄湖东路，是一家生产销售微电子业用超纯化学I细化工产品的中港合资企业。品种包括氢氟酸、过氧化氢、异丙醇、氨水、M等。目前主要量产品种的纯度为单项金属杂质含量小于Ippb。产品广泛应用成电路和TFT-LCD面板制造过程中的蚀刻与清洗。总体产能2万吨，公司产和超净试剂，高纯氢氟酸产能7000多吨，占其利润一半，产品处于中高端水有较好口碑。其产品80%用于太阳能领域，20%用于半导体、TFT-LCD领域。I万吨氢氟酸生产线，还方案在苏北建立I条8.3万

5、吨级的生产线，开拓北，级微电子用高纯度氢氟酸2023年获奖2007年中国半导体创新产品和技术工年苏州市科技开展方案各类工程，经专家评审，公告确定了该公司UP-SS级微氤酸获得苏州市科技型企业技术创新资金专项工程。弓市润玛电子0,10总产能约2500吨，产品包括硫酸、氨水、氢氟酸等，产品95%针对太阳能市对半导体市场，公司总体路线是低价路线。9江化微电子0,10.1生产微电子化学品一一紫外负性光刻胶及其紫外正、负性光刻胶配套试剂、起通用化学试剂系列以及其它专用电子化学品5（X）0吨能力，产品类型与晶瑞相平低于晶瑞。;化学品总体产能3000吨，主要产品是CMOS级、MOS级和低颗粒高纯试剂。J金城

6、试剂即金城试剂厂，还包括金城精细化工厂、精细化工二厂和金城公司昆山分公i产厂家产能（万吨/年）产品等级技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS最大的专业生产化学试剂产品的企业之一。高纯试剂：包括高纯无机酸类G硝酸、氢氟酸等）及局部有机溶剂（醇、酮、能及苯类），纯度为4N、5N（99.%的金属氧化物（例、铅、确、鸨、钳、错）。H旭昌化学科0,80.8苏州市开展和改革委员会2012-1-30发布新建工程核准的批复，该工程位于昆细化工区，其中电子级氢氟酸清洗剂8000吨。J市富乐化工专业生产工业级氢氟酸、电子级、分析纯、超高纯氢氟酸、氟硼酸、氟硼酸2铅、氟化筱、氟化氢校等氟化物产品及硝酸、盐酸、硫

7、酸、无水乙醇、氢氧仕丙酮等。年总产量到达IOoOO多余吨，年产氢氟酸为5000吨、氟硼酸为100为800吨硝酸为3000吨，盐酸为1500吨等。氢氟酸产品为试剂级、电子级、:化工股份1江苏南通2023-07对江苏三美化工（在如东洋口化学工业园如东）年产6万吨O括年产1万吨二氟甲烷、1万吨五氟乙烷、1万吨三氟乙烷、2万吨四氟乙烷,丙烷）、5万吨无水氟化氢、1万吨高纯电子级氢氟酸、3万吨偏二氯乙烯、30.5万吨聚偏二氟乙烯树脂；联产19万吨石膏、17万吨盐酸、0.55万吨40%专吨氟硅酸、0.1万吨四氯乙烯及850吨六氟丙烯工程进行了审批公示。彳南通明鑫化最专业的高活性氟化钾设计制造商：南通市明鑫

8、化工专业生产结晶氟化钾、生产氢氟酸、氯化钾、氯化钙、钝化液，同时经营硫酸、硝酸、盐酸、氟化名钾等。三苏纯化工科南京苏纯化工科技是一家领先的超净高纯电子化学品与水处理化学品提供商。氢氨酸（40%49%）纯度规格EL级/UP级/UP-S级，4玛（常熟）道达尔集团阿科玛Arkema在华氢氟酸企业。1996年6月成立的中国第一家致氢氟酸及氟利昂替代品的外商投资企业。目前拥有三个工程：分别为生产销售氟化工工程，生产共聚酰胺类的热熔胶工程，以及有机过氧化物工程，总投美元。公司于2000年5月正式投产，目前生产无水氢氟酸20000吨、FORAN吨，并正在为增产建设。:永飞化工1,50,31.22023-9月

9、下旬，工程破土开工，2023-5月底完成。生产厂房采用钢架结构以等品AHF为生产原料。9月15日公司顺利完成15000吨/年高纯超净氢氟酸酸）工程福建省外经贸区域协调开展促进资金的申报工作。供货于日本关有3富宝腾达化10+20.8福建南平市顺昌县埔上镇，无水氟化氢3万吨/年，氟化盐系列产品8千吨/年剂20吨/年。拟投资6亿以上，开发电子级氢叙酸、电子级双氧水等7个以精:主的工程。2023年己环评公示。方案2023年建成投产。超纯电子级氢氟酸工经计量的氢氟酸及电子级纯水进入蒸发器，加热汽化，然后进入精循塔，塔器冷凝成超纯氢氟酸，放至超纯氢氟酸贮槽。未冷凝气体再经尾气吸收塔吸4有水氢氟酸的制备：超

10、纯氢氟酸储槽为高浓度超纯氢氟酸，需经稀释到不同W纯有水氢氟酸，稀释用水必须是电子级用纯水，稀释后的超纯有水氢氟酸必2质量检测，其阳性金属离子含量，阴性离子含量，尘粒直径及颗粒数，需用习器，作超痕量检测，合格后在洁净环境5进行包装（1万级洁净区）。电子级:水经初级物理性去杂质过滤，再经Ro逆渗透膜去除阴阳离子，得到初级纯水的EDI膜去除痕量的阴阳离子，得到电子级纯水.:华新化工11公司成立于2004年，是一家外商独资企业，公司总占地面积约240亩，拥有多人，其中技术人员100余名。下属有邵武华新化工、凰门美迪化工、光泽武华孚新材料开展四家公司。公司生产基地地处福建北部，有丰富而优质的:立以来致力

11、于氟化工系列产品的研发和生产销售。目前已建成无水氟化氢4.5筱（氟化佞）100OO吨、干法氟化铝3万吨、氟碳外表活性剂系列80吨、优级名吨的生产线。2023年5月电子氢氟酸工程环评，厂址定在金塘氟化学分公司:产厂家产能（万吨/年）产品等级技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS武金塘工业园区。扩建1套IoOooVa超纯电子级氢氟酸生产线和1套电子级纠新增一座成品仓库及罐区。主要生产工艺：（1）纯洁水制备工艺：原水经初W质过滤，再经Ro逆渗透膜去除阴阳离子，得到初级纯水，再经最先进的ED的阴阳离子，得到电子级纯水。（2）高纯氢氟酸制备工艺：氢氟酸与电子级器加热气化后，以蒸汽形式进入精馆塔，釜底

12、主要为少量的残渣：塔顶生成为1经过冷凝后局部回流到精循塔内，局部做为产品，保存到成品储罐内。冷凝锦气体挥发到尾气吸收塔，用电子级水吸收生成高纯有水氢氟酸，再少量的HF水吸收和碱液吸收生产氟化钙石膏。建设期2023-2023年。邙日山水化工公司主要化工产品有：工业氢氟酸、无水氟化氢、化学试剂氢氟酸、电子级名氢筱、氟化铁、氟硼酸、氟硅酸、氟硼酸钠、氟硅酸钾、氟化氢钾、氟硅酸卸氟化钠等，公司主要矿产品有：酸级萤石精粉、冶金级萤块矿、粒矿、萤石知I多化工股份0+50.52011-2-2-11河南省环境保护厅对锂离子电池用电解液及六氟磷酸锂、电池级级氢氟酸工程环境影响报告书进行了批复豫环审（2023）3

13、5号1。多氟多拟把实施2万吨锂离子电池用电解液及2000吨六氟磷酸锂、400吨电池级氟化锂、级氢氟酸的新建工程。方案2023-2023年首先一期建设2500吨/年电子级氢氟测2000吨/2023年，2500吨/2023年，4500/2023年，5000吨/2023年。三巾氟源化工0.40.4即原焦作市筑化盐厂，又名焦作市晟铝氟化盐有限责任公司。公司于2006年企业，为使公司快速开展先后建成年产冰晶石IooOO吨，氟化铝30000吨，吨的先进生产线。电子氢氟酸工程于2023年2月焦作市企业投资工程备案2023OOOO3）,总投资9609.2万元。2023年8月16日，在沁北产业集聚区签f电子氢氟

14、酸工程入驻。三市增氟科技年产5万吨无水氢氟酸，河南省企业投资工程备案情况已公示。建设地点：焦克路北。总投资：100OO万元。方案建设起止年限：2023-62023-12。年产氟酸，共两条生产线单条2.5万吨），分二期建设，一期2.5万吨工程方案2工，二期方案2023年底完工投产。采用国内先进技术，以硫酸、萤石为原料加热-吸收-冷凝-精饱的工艺进行生产，主要装备有反响炉、冷冻机、吸收塔产品用于清洗不锈钢、氟化盐行业、玻璃行业等。市冰晶科技年产3万吨氢氟酸工程，目前已投资30万元，开始生产。衣（鹰鹏）亨F技2,41.21.21.2万吨/年工程2023年11月环评首次公示。宣城市环保局2011-9-8再次公示亨元化工科技预留场地内进行建设。2023年5月可研评审宣州通过.投资1.采用工业无水氟化氢为原料，经过氧化、蒸憎、别离等工艺过程生产电子级第一期已建成了电子级氢氟酸生产线，年产电子级氢氟酸1.2万吨，各项指标.水平。拥有二套年