电子特种气体行业深度分析：竞争格局、市场现状、机遇挑战、未来趋势.docx

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1、电子特种气体行业深度分析报告（竞争格局、市场现状、机遇挑战、未来趋势）2023年3月一、电子特种气体简介4二、电子特种气体下游应用领域41 .集成电路62 .显示面板6三、电子特种气体市场容量与竞争格局71 .全球电子特种气体市场容量72 .中国电子特种气体市场容量83 .电子特种气体市场竞争格局9四、三氟化氮、六氟化鸽市场规模、供需情况及竞争企业产能情况111 .三氟化氮的市场规模、供需情况、竞争对手产能情况112 .六氟化鸦的市场规模、供需情况、竞争对手产能情况15五、三氟甲磺酸系列市场概况191 .三氟甲磺酸系列产品简介192 .三氟甲磺酸系列产品市场容量193 .三氟甲磺酸系列产品市场

2、竞争格局19六、行业在新技术、新产业、新业态、新模式等方面近三年来的发展情况与未来发展趋势.19L行业在新技术方面发展情况与未来发展趋势192 .行业在新产业方面发展情况与未来趋势203 .所属行业在新业态方面发展情况与未来趋势204 .所属行业在新模式方面发展情况与未来趋势21七、进入行业主要壁垒221 .不同产品的工艺存在差异，掌握核心技术难度较大222 .客户认证周期长、准入难度较大223 .海外业务拓展在专利布局、市场开发方面存在较大挑战22八、行业发展态势及面临的机遇和挑战231 .行业发展态势及面临的机遇232 .面临的挑战25一、电子特种气体简介电子气体包括大宗电子气体和电子特种

3、气体，是集成电路、显示面板、半导体照明、光优等行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料，是集成电路制造的第二大制造材料，仅次于硅片，占晶圆制造成本的13%。电子特种气体主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节，主要分为三氟化氮等清洗气体、六氟化鸨等金属气相沉积气体等。应用行业主要用途主要气体集成电路成膜六氟化鸨(WF6)、四氟化硅(SiF4)、乙快(C2H2)、丙烯(C3H6)、笊气(D2)、乙烯(C2H4)、硅烷(SiH4)、氧氮混合气(Ar/02)、笊代氨(ND3)等光刻氟氨气(F2KrNe)氟笈(KrVNe)等混合气刻蚀、清洗三氟化氮(NF3)、六氟乙烷(C2F6)、八氟丙烷

4、(C3F8)、八疑环丁烷(C4F8)、六氨丁二烯(C4F6)、氨化氢(HF)、氯化氢(HC1)、氧氮(OZHe)、氯气(CI2)、氟气(F2)、溟化氢(HBr)六氟化硫(SF6)等离子注入碑烷(ASH3)、磷烷(PH3)、四氟化铭(GeF4)、三氟化硼(IlBF3)等其他六氯乙硅烷(Si2CI6)、六氯化铝(WCI6)、四氯化钛(TiCI4)、四氯化管(Hfel4)、四乙氧基硅(Si(OC2H5)4)等显示面板成膜、清洗三氟化氮(NF3)、硅烷(SiH4)、氨气(NH3)、笑气(N20)、氧氮混合气(Ar7O2)、氯化氢氢笈混合气(HeIH2Ne)等半导体照明外延碑烷(ASH3)、磷烷(PH3

5、)、三氯化硼(BCI3)、氨气(NH3)等光伏沉积、扩散、刻蚀三氟化氮(NF3)、硅烷(SiH4)、氨气(NH3)、四氟化碳(CF4)等二、电子特种气体下游应用领域电子特种气体下游应用包括集成电路、显示面板、半导体照明和光伏等行业。根据前瞻产业研究院数据显示,从全球来看，电子特种气体电子特种气体应用领域应用于集成电路行业的需求占市场总需求的71%,应用于显示面板行业的需求占市场总需求的18%；从我国来看，电子特种气体应用于集成电路行业的需求占市场总需求的42%,应用于显示面板行业的需求占市场总需求的37%。我国集成电路行业电子特种气体的需求相对较低，主要原因为我国的集成电路产业技术水平和产业规

6、模与世界先进国家和地区还存在一定差距，而显示面板产业经过多年持续发展，我国已成为全球最大的产业基地。全球电f特气卜源需求占比我国电r特气下谢需求占比M小闺板18%集成电路UH工成电路71%U小向板37H数据来源：前瞻产业研究院下游行业发展趋势如下:1 .集成电路近年来，受下游市场需求牵引，在国家和地方产业政策的引导支持下，在国家和地方专项投资基金等相关方的协同下，我国集成电路产业迎来了新的发展机遇。根据ICInSightS数据，我国集成电路市场需求2020年为1,430亿美元，2025年预计达到2,230亿美元，复合增长率9.29%,我国集成电路市场需求持续攀升。中国集成电路制造2020年产值

7、为227亿美元，自给率为15.87%,预计2025年产值将达到432亿美元，自给率将进一步提高到19.37%,复合增长率达到13.73%。中国集成电路产业规模持续扩大，将引领我国电子特种气体市场进入快速发展时期。中国集成电路市场供需预测（亿美元）数据来源：ICinSightS2 .显示面板显示面板行业早期主要集中在日本、韩国以及中国台湾，在国家产业政策支持、技术实现突破等多重利好因素的推动下，我国显示面板行业取得了长足进步，形成了以京东方、TCL科技、深天马、维信诺等重点企业领衔的产业集群，全球产能占比超过六成，是全球第一大显示面板产业集中地。近年来我国积极布局OLED、AMOLED、Mini

8、LED.MicroLED等新兴技术领域，未来LCD仍是主流技术。根据Forst&Sullivan资料显示，2020年至2024年中国显示面板市场规模复合增长率为6.34%,将迎来持续发展期，市场规模扩大将带动整体产业链进入快速上升通道，进一步带动电子特种气体市场稳健发展。中国大陆显示面板行业市场规模（百万平米）112.01,65100.2，066.i.lillll140.0106.6120.0l.080.060.040.020.00.0201520162017201820192Q2O2021E2G22E2Q23E2O24ELCD显示面板OLED显示面板数据来源：Forst&Sullivan三、

9、电子特种气体市场容量与竞争格局L全球电子特种气体市场容量根据TECHCET数据，全球电子特种气体的市场规模2017年约为36.91亿美元，2020年增加至41.85亿美元，2021年进一步增长至45.38亿美元，2017年至2021年复合增长率为5.30%,预计2025年市场容量将超过60亿美元，2021年-2025年复合增长率预计达到7.33%o2021年，全球电子气体的市场规模约为62.51亿美元，其中电子特种气体占72.60%,电子大宗气体占27.40%。全球电子气体市场规模（亿美元）90.0080.0070.0060.0050.00-40.00-30.0020.00-10.-0.00j

10、2017201820192020202IE2022E2023E2024E2025E电子大宗气体14.8615.6815.3716.5917.1317.9318.3519.4420.41电子特种气体36.9139.1438.7541.8545.3850.0151.1755.776023电子特种气体电子大宗气体数据来源：TECHCET伴随集成电路及其他相关行业的需求增长，电子特种气体作为其生产过程中的重要原材料之一，市场规模也呈稳步增长趋势。参考全球电子特种气体市场预测规模及集成电路用电子特种气体需求占比的数据测算，全球集成电路电子特种气体规模2021年为32.22亿美元，预计2025年为42.7

11、6亿美元。2 .中国电子特种气体市场容量未来，下游需求增长带动半导体行业投资加速，以及“碳中和”及“碳达峰”对光伏行业发展的推动作用，电子气体需求将持续保持高速增长。预计2025中国电子气体市场规模将提升到316.60亿元，2021年到2025年复合增长率达到12.77%。我国电子气体市场规模的增长率明显高于全球电子气体增长率，未来有较大发展空间。中国电子气体市场规模（亿元）数据来源：SEMI根据前瞻产业研究院数据显示，我国集成电路用电子气体的市场规模2020年为76亿元，2021年增长至为85亿元，预计2025年规模将达到134亿元，2021至2025年复合增长率为12.05%,步入了快速发

12、展的轨道。根据ICMtia统计数据测算，中国集成电路用电子气体中，电子特种气体市场规模约占64%。中国集成电路对电子气体需求市场规模预测（亿元）数据来源：前瞻产业研究院3 .电子特种气体市场竞争格局全球电子气体主要生产企业林德等前十大企业，共占据全球电子气体90%以上市场份额。其中，林德、液化空气、大阳日酸和空气化工4大国际巨头市场份额超过70%。该等国际大型电子气体企业一般同时从事大宗电子气体业务和电子特种气体业务，从事大宗电子气体业务的企业需要在客户建厂同时，匹配建设气站和供气设施，借助其较强的技术服务能力和品牌影响力为客户提供整体解决方案，具有很强的市场竞争力，为后进入者设置了技术壁垒和

13、专利壁垒。2020年全球电f气体市场份额林耀液化空气大阳口酸-空气化工共他数据来源：TECHCET具体到电子特种气体领域，全球主要生产企业为SKMaterials.关东电化、昭和电工、派瑞特气等，该等企业在总体规模上均与4大国际巨头存在差距，但在细分领域具有较强的竞争力；国内电子特种气体企业主要有派瑞特气、南大光电、昊华科技等。国内外电子特种气体主要生产企业情况:地区企业名称主要业务情况国外SKMaterials隶属于SK集团，是韩国三大企业集团之一，以能源化工、信息通讯半导体、营销服务为三大主力产业。SKMateriaIS是三氟化氮、六氟化筲主要供应商。关东电化主营业务为基础化学品、精密化学

14、品以及铁业务，特种气体主要产品有六氟化硫、四氟化碳、三氟甲烷、六氟乙烷、三氟化氮、等氟化气体，电池材料主要产品为六氟磷酸锂、硼氟化锂等。林德主要产品包括氧气、氮气、氯气、稀有气体、碳氧化物、筑气、氢气等。液化空气业务遍布全球，主要为冶金、化工、能源等行业供应氧气、氮气、氮气、氢气、一氧化氮等产品，为汽车、制造业、食品、医药、科技等行业提供工业气体、制气设备、安全装置等。大阳日酸在亚洲、欧洲、北美等地设有30多家子公司，主营业务覆盖钢铁、化工、电子、汽车、建筑、造船、食品和医药等多个领域。可提供现场制备气体和储存气体相关设备业务。空气化工主营业务为销售和服务空分气体、特种气体、气体设备等。主要产

15、品为大宗气体与稀有气体。2016年10月，空气化工将服务于半导体制程行业的化合物特种气体业务剥离。昭和电工主营业务涉及石油、化学、无机、铝金属、电子信息等多种领域O产品包括高纯四氟甲烷、三氟甲烷、二氟甲烷、六氟乙烷、三氯化硼、氯、淡化氢、六氟化硫、氨等。国内南大光电主营业务为先进前驱体材料、电子特气、光刻胶及配套材料等三大关键半导体材料的研发、生产和销售。在电子特种气体领域，产品主要包括氢类和含氟电子特气。昊华科技主营业务分为高端氟材料、电子化学品(含电子特种气体)、航空化工材料、工程及技术服务四大板块。在电子特种气体领域，产品主要为三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫等。华特气体主营业务以特种气体的研发、生产及销售为主；主要产品包括高纯六氟乙烷、高纯四氟化碳、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯氨、高纯一氧化氮等。金宏气体