GB_T 43773-2024 电子气体 羰基硫.docx

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1、.Pv.r.？：ICS31.030CCS1.90中华人民共和国家标准GB/T437732024电子气体耀基硫Electronicgas-CarbonyIsulfide2024-03-15发布2024-10-01实施国家市场监督管理总局安太国家标准化管理委员会发布本文件按照GB/T1.12020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAaTC203）提出并归口。本文件起草单位：福建久策气体股份有限公司、河南心连心深冷能源股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、

2、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、北京高麦克仪器科技有限公司、太和气体（荆州）有限公司、三峡大学、湖北和远气体股份有限公司、兰州裕隆气体股份有限公司、杭氧集团股份有限公司、衢州杭氧特种气体有限公司、液化空气（中国）投资有限公司、浙江省计量与标准化学会、浙江省标准化研究院、浙江中硝康鹏化学有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资（上海）有限公司、中国计量科学研究院、上海凡伟仪

3、器设备有限公司、浙江省化工研究院有限公司、沈阳中亚科金压力容器有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、哈尔滨黎明气体有限公司、中国测试技术研究院化学研究所、空气化工产品（中国）投资有限公司、中国计量测试学会、北京睿信捷环保科技有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体（上海）有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、眉山麦克在线设备股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司。本文件主要起草人：曹素英、毛玉凤、汤萍、吴禹强、郑梦杰、郑秋艳、倪珊珊、蔡金、黄斌斌、傅铸红、

4、陈祁珊、金向华、孙猛、廖恒易、李磊、孙福楠、郭琼、胡迎、牛艳东、刘丽娜、阳辉、汪正宏、袁有录、杜大艳、曹、林、方强、尹爱华、王破、何晖、李春胜、齐婕、朱安民、张翔、朱明、王子源、金雪光、马彬淇、方华、孙震、赵爽、黄辉、王德发、尹冬梅、何波、唐中伟、史婉君、宫兵、杨金山、鲍光强、王见见、魏王慧、郝萍、常侠、边鲁宁、邵成刚、周鑫、王晶、杨扬仲夫、赵洁、杨利、王立、梁永强、高静、张艺山、赖晓峰、周鹏云、唐霞梅。电子气体技基硫1范围本文件规定了默基硫的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。本文件适用于一氧化碳与硫为原料合成制备的电子用炭基硫。2规范性引用文件下列文

5、件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB190危险货物包装标志GB/T5099（所有部分）钢质无缝气瓶GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法GB/T7144气瓶颜色标志GB/T14193液化气体气瓶充装规定GB15258化学品安全标签编写规定GB15603危险化学品仓库储存通则GB/T16804气瓶警示标签GB/T28726气体分析氮离子化气相色谱法GB/T33145大容积钢制无缝气瓶GB/T43306气体分析采样导则TSGRO

6、OO5移动式压力容器安全技术监察规程TSG23气瓶安全技术规程3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4技术要求默基硫的技术要求应符合表1的规定。表1技术要求项目指标默基硫（COS）纯度（摩尔分数）1O399.995氢（HZ）含量（摩尔分数）1051表1技术要求（续）项目指标（氧+氢）（Oz+Ar）含量（摩尔分数）/10-*5氮（电）含量（摩尔分数）/10-620一氧化碳（CO）含量（摩尔分数）/10-63二氧化碳（CO?）含量（摩尔分数）/10-610甲烷（CH）含量（摩尔分数）/10-61硫化氢（HzS）含量（摩尔分数）1055二氧化硫（SO2）含量（摩尔分数）/10。5二硫化碳（CS

7、2）含量（摩尔分数）1065水分（出0）含量（摩尔分数）/10-65杂质总含量（摩尔分数）/10-6505采样谈基硫的采样应符合GB43306的规定。6试验方法警示本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况，使用者应采取适当的安全和健康防护措施。6.1锻基硫纯度6.1.1杂质总含量杂质总含量按公式（1）计算：xn=x1+x2+3+4+xs+x6+x7+xgxg+xjn（1）式中：Xl氢含量（摩尔分数），10-6;X2（氧+氨）含量（摩尔分数），10-;X3氮含量（摩尔分数），10-;X4一氧化碳含量（摩尔分数），10-“；xs二氧化碳含量（摩尔分数;xs甲烷含量（摩尔分数），10-;x;硫化氢含

8、量（摩尔分数;xg一一二氧化硫含量（摩尔分数），IO”；Xg二硫化碳含量（摩尔分数），10-6;XlO一水分含量（摩尔分数;xn杂质总含量（摩尔分数），100。6.1.2臻基硫纯度皴基硫纯度按公式（2）计算:x=100-10-4（2）式中：x瘦基硫纯度（摩尔分数），10,62氢、-ftv氮、TI化磔、二化碳、甲烷含的测定6.21 测定方法按GB/T28726规定的切割进样的方法测定段基硫中氢、氧+氮、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量。可采用其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时，以本文件规定的方法为仲裁方法。6.22 预分离柱长约0.6m,内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm0.2

9、5mm的改性碳分子筛，或其他等效色谱柱。6.23 色谱柱色谱柱I:长约2m,内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm0.25mm的5A分子筛，或其他等效色谱柱。该柱用于测定氢、氧+氮、氮、一氧化碳、甲烷含量。色谱柱11:长约4m,内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm0.25mm的高分子聚合物（二乙烯基苯），或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳含量。6.24标准样品中组分含量与被测组分含量相近，平衡气为基气。&3硫化氢、m化硫、二硫化碳含的测定1.1 .1测定方法按GB/T28726规定的方法测定炭基硫中硫化氢、二氧化硫、二硫化碳含量。可采用其他等效的方法测定。当对测定结果有异

10、议时，以本文件规定的方法为仲裁方法。1.2 .2色谱柱色谱柱I:长约1.2m,内径约Imm的内涂层不锈钢管，内装粒径为0.15mm0.18mm的高分子聚合物（乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物），或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化硫、二硫化碳含量。色谱柱II：长约2m,内径约Imm的内涂层不锈钢管，内装粒径为0.18mm0.25mm的高分子聚合物（乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物），或其他等效色谱柱。该柱用于测定硫化氢含量。1.3 .3sma标准样品中组分含量与被测组分含量相近，平衡气为氮气。6.14 气路流程参考的气路流程示意图见附录A。6.15 分含的3定按GB/T5832.3的规定执行。可采

11、用其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时，以GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法。6.16 气处理测定时，应有臻基硫尾气处理措施，以防止狱基硫对环境的污染。7检验规则拨基硫产品应逐一检验并验收。当检验结果均符合表1的技术要求时，判该产品合格。当检验结果有任何一项指标不符合表1的技术要求时，则判该产品不合格。8屋、礴、贮存XSS患8.1 标志8.1.1 瓶基硫出厂时应有产品质量合格证，其内容至少应包括：产品名称、生产厂名称；生产日期或批号，以及保质期；充装质量(kg);一一本文件编号及埃基硫的纯度。8.1.2 包装容器上应涂刷“电子气体球基硫”字样。8.1.3 1.3埃基硫的包装标志应符合

12、GB190的相关规定，颜色标志应符合GB/T7144的规定，包装标签应符合GB15258、GB/T16804规定的要求。8.2 包装、运输及贮存8.2.1包装埃基硫的气瓶应符合GB/T5099(所有部分)或者GB/T33145的规定。8. 2.2谈基硫的充装及贮运应符合GB/T14193、TSGR0005.TSG23的规定。充装及贮运的安全管理要求见危险化学品安全管理条例特种设备安全监察条例。9. 2.3埃基硫的最大充装量按公式计算：m=F,XV(3)式中：m气瓶内臻基硫的质量，单位为千克(kg);F,瓶基硫的充装系数，F,=0.84kg/1.;V气瓶标明的内容积，单位为升(1.)。8.2.4

13、宜使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本文件的要求。瓶阀出气口连接方式宜使用DISS722、CGA330。8.2 .5应防止泄漏和瓶口被污染。8.2.6 用户返回的埃基硫钢瓶中的残液量不宜低于充装量的5虬8.2.7 埃基硫产品的贮存应符合GB15603的规定，存放在阴凉、干燥、通风的库房内，不应暴晒，远离热源。8.3 安全信息默基硫的安全信息见附录B,附录A（资料性）气路流程示意图测定段基硫中硫化氢、二氧化硫、二硫化碳含量时，参考的气路流程示意图见图A.1。标引序号说明：1 载气进口：2 一我气过滤器；3 氮气纯化器：4、16定量管；5 十通阀：6 样品气进口；7 样品过滤器；8 流量

14、计；9 一样品气出口；10 氨离子检测器;11 尾气出口；12 六通阀：13 一一色谱柱I;14 放空针阀；15 色谱柱II。图A.1气路流程示意图附录B（资料性）安全信息8.1 基本信息8.1.1 化学式：COS;中文名：谈基硫；英文名：Caibonylsulfideo8.1.2 相对分子质量：60.070（按2018年国际相对原子质量计算）。8.1.3 代码：CAS号463-58T;UN号2204。8.1.4 物理性质：沸点一50,熔点一139C,蒸气密度2.721kgm3（0C101.325kPa）。液体密度1.178（沸点温度下），相对蒸气密度2.07（干燥空气为1）,饱和蒸气压1.1MPa（20C）,临界温度102.0,临界压力5.88MPa0B.15毒性：半数致死浓度：大鼠吸入1.CS4h=850m1.m3oB.1.6自燃温度：209,8.1.7 空气中爆炸极限（体积分数）：6.5%28.5%O8.2 危险性说明B2.1默基硫是无色，易燃，有毒的气体,B.2.2与臻基硫空气混合形成爆炸性混合物，遇明火、高热引起燃烧爆炸。燃烧时生成有