回血性能测试仪操作规程.docx

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1、1、目的规定回血性能测试仪操作方法和要求，以便操作者能正确操作。2、范围适用于回血性能测试仪的操作。3、操作步源3.1.1 开机操作使用时主要操作在流量显示仪上进行（参见下图）。阀门控制开关及流量设定电位器在前面板上，流量设定的内部或外部信号选择开关一般在后面板上。当设定选择开关打到“内”时，用设定电位器设定流量，打到“外”时，由外部信号设定流量。流量显示窗外调零电位器阀控开关DO8-1D/ZM液显示仪流量单位指示设定电位器流量显示仪操作面板a.阀开关处于“阀控”位时,先开气后开电源，则气体流量软启动经过约20秒钟达到原设定值的5%以内。一般应先将阀关闭，不通气，通电预热15分钟，待零点稳定以

2、后再正式工作。如果零点偏差较大，在不通气的情况下,可以通过调零电位器调零。b.阀开关处于“关闭”位，通电预热15分钟后，开气，将阀开关置至“阀控”位，则流量经过几秒钟后达到设定流量的2%以内。这是推荐操作方法。C.阀开关处于“清洗”位，在开电源、开气后，则管路流量达到最大值，起到吹洗气路的作用。d.阀开关处于“阀控”位,并且设定不为零时，如果先开电源，后开气，则流量将会有一个大过冲，然后迅速稳定至设定值。这种操作方法应当避免。e.先开电源、将阀开关置到“关闭”位，将设定值调到零，再开气，待预热至零点稳定后，再转“阀控”位，然后将设定流量调至需要值，则实际流量跟踪设定值而改变，无过冲。这是最佳操

3、作方法。3.1.2 清洗功能欲用气体吹洗管路，可将阀开关置为“清洗”位，清洗时的流量可达该控制器额定量程流量的几倍至几十倍。如果不通气，则根据需要可以抽真空以排除质量流量控制器内部及其上游残存气体。然后将阀关闭，再开气，并转到“阀控”位工作。1.1. 3阀控功能当阀开关置于“阀控”位时，用户也可通过外控信号插座上的“阀控”线控制阀门，当阀控线接+15V时，阀门关闭；当阀控线接T5V时，阀门开到最大，处于清洗状态；当阀控线悬空时，阀门处于自动控制状态。3.1.4关机操作切断电源后，流量自动截止。最好先关气（将阀控开关置于“关闭”位和关闭气路中的截止阀），后断电源。4 .注意事项4.1. 使用介质

4、要求所使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时，须在气路中加装过滤器等。如果质量流量控制器出口接有液体源瓶，应在流量计出口加装单向阀，防止液体回流损坏流量计。4.2. 使用腐蚀性气体问题质量流量控制器的气流通道中所采用的材料有：00Crl7Nil4Mo2（相当于316L不锈钢），lCrl8Ni9Ti（相当于304不锈钢），氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下，可以用于控制一般的腐蚀性气体。使用氨气、有机溶剂蒸汽（如丙酮等）、和其它强腐蚀性气体（如BCI3、BBr3等）的用户，应在定货时声明。对于D07-60B质量流量控制器所选用的非金属密封材料通常为氟橡胶

5、或耐氨橡胶；对于使用特殊腐蚀性气体，所有密封材料都要作相应改变。注意:对于使用腐蚀性或有毒、易燃气体的产品，通气使用前应严格保证并检验安装和联接的气密性；如需从系统上卸下，应在断开气路前，使用干燥的对人体无害的常规气体（如氮气、空气）或情性气体对产品进行彻底的清洗。如没有清洗，可能会引起火灾、爆炸、中毒等意外事故，将导致人员伤亡。4.3. 阀口密封问题质量流量控制器的电磁阀是调节阀，不是截止阀，不能当截止阀使用，用户应另配截止阀。特别是用户如果使用腐蚀性气体，通常应该在质量流量控制器进出气口各加一个截止阀，以保证工作安全。长期工作后，如果控制器阀口的漏气率在2%F.S以内，是属于正常情况。如果

6、漏气大于满量程的2%,则应进行维修。4.4. 阀控操作注意在操作阀门进行“清洗”后，不得直接转至“阀控”位工作，必须先将阀门置至“关闭”位，然后再转至“阀控”位工作。4.5. 5安装位置问题本质量流量控制器安装时最好保持安装面水平，但对位置并不特别敏感，可以任意位置安装，非水平位安装时若发现零点偏移，可调整零点后再工作。如果用户订货时注明安装位置，我厂也可根据用户的安装位置进行标定后出厂。4.6. 6注意工作压差质量流量控制器要特别注意工作介质的气压，应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在指标范围之内。特别是在高压下工作时，气压差过大，流量将无法关闭或调小。在使用大流量的质量流量控制器时，

7、要注意适当加粗管道和减小气源内阻，若工作压差小于要求值，有可能流量达不到满量程值。4.7. 标定和不同气体的换算本流量计出厂通常用氮气(N2)标定。如果要求用使用气体标定，需要在订货时与销售人员特别申明。用氮气标定的流量计用户使用其它气体时，可以通过附录9.1的转换系数进行换算,算出被使用气体的流量。将质量流量控制器显示出的流量读数，与某使用气体的转换系数相乘，即得该被测气体在标准状态下的质量流量。例如：一个出厂标定为100OSLM(N2)的质量流量控制器，通甲烷气体时显示的流量为860SLM,从附录9.1查得甲烷的转换系数为0.719,则甲烷的实际流量为860X0.719即618.3SCCM

8、o5 .故障判断和处理序号故障现象故障可HL，.因处理方法1开机后.无气流流过1.1气源未开,气路不通接通气源,开通气路1.2阀控开关关闭将阀开关置干阀控”位或“清洗“位1.3无设定信号检查设定电位器和呐外”设定开关的状态等1.4过滤器堵塞*更换过渡器1.5调节阀故障检查陶线包是否断,*清洗调节阀1.6电路故障*维修电路2开机不通气的情况下.流量检制不正常2.1零点偏差调整调等电位器2.2电源故障*检查15V电源等2.3传感器故障哽换传感器2.4运算放大器或其它电路故厚，更换运放.维修电路3在阀门关闭的情况下,仍有较大的流量流过3.1人口气压过高.进出气口之间的压差超过额定值适当降低输入气后减

9、小气压差3.2阀门污染*清洗阀门,更换密封件3.3调节阀故障唯新调整调惟4流量显示不能达到满星程值4.1气压降低于额定值提高入口气压4.2通道堵塞*清洗MFC通道4.3设定电压低于5.0OV*检查设定电压4.4其它电路故障唯修电路序号故障现象故障可能原因处理方法5气流控制不稳定,有较大的波动5.1气源压强太低或不稳提高气源气瓜稳定气源乐强5.2气源内阻过大雕气源内阻伏流量时要注意开大Wd加粗管道，以至并联气瓶.提高气源供气能力5.3电路或调节阀故障*维修i昨6使用高频源时流量控制器受成6.1供电系统的地线和零线连接或机壳接地有问题检查接地系统，注意一点接地6.2信号参考端连接问题检查信号连懒63空间干扰适当屏版远离干扰源,选用屏蔽线7量与显示流量不一致7显示器量程或单位与控制器不匹配唾调显示器7.2控制器通道被污染,引起流量精度发生偏差*对控制器进行清洗标定7.3流量计零点有较大漂移,不稳定哽换传感器,维修电路8设定为零时仍有I：8.1调节阀漏气*维修调节阀8.2流量计零点偏负将流量计零点调为零或偏正9行很大气流流过，而输出无流量显示9.1传感器堵塞峰修更换传感器气源有就通道前加装过Oc若使用硅烷等特殊气体,应注意管路的密封性和气源Ft9.2电路故障*维修电路10不通气时，发现零点不稔区点长时间慢漂感10.1传感器故障哽换传感器