至纯科技上海至纯洁净系统科技股份有限公司投资者关系活动记录表.docx

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1、证券代码：603690证券简称：至纯科技上海至纯洁净系统科技股份有限公司投资者关系活动记录表投资者关系活动类别特定对象调研口分析师会议 媒体采访业绩说明会 新闻发布会口路演活动 现场参观券商策略会 其他（请文字说明其他活动内容）参与机构博时基金、香港富达基金、人保资产、太平资产、亚太财险、财通资管、天弘基金、浙商证券、开源证券民生证券策略会、开源证券策略会、浙商证券策略会、中邮证券策略会、天风证券策略会时间2023年7-9月（非窗口期,共11场）地点现场会议、线上业绩说明会上市公司接待人员姓名董事长兼总经理蒋渊，集团副总兼董秘陆磊，董秘特助任慕华，证代张娟投资者关系活动主要内容介绍一、 公司近

2、期情况简介公司2023半年度实现营收14.8亿元，同比增长32.13%；归母净利润L09亿元,同比增长33.67%；截至2023年6月底,新增订单32.66亿元，同比增长38.28%；新增订单中73.65%为半导体行业，其余为泛半导体和生物医药行业；截至2023年6月底，在手订单53.23亿元。二、 交流的主要问题及回复概要1、请问公司湿法设备目前进展如何？答：公司湿法设备应用于成熟制程的产品线拓展有序，在部分逻辑用户和第三代半导体用户的产线渗透率持续提高。应用于先进制程的高阶产品线，在订单获取的进度上受到用户扩产进度影响有延后，但在高温硫酸、FINETCHs单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台，

3、公司交付和验证进度都在国内领先。2、请问公司湿法清洗设备有没有跟动研发更先进产品？答：公司一直跟动客户进行研发制造，目前湿法设备在28纳米节点已经全覆盖，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点也已取得部分工艺订单。单片硫酸设备为湿法设备中难度最高的工艺机台，公司S300SPM机台已交付给多家国内主流晶圆厂，并已经应用于国内头部客户的12英寸逻辑量产线，月产能最高可达6万片次以上。单设备在用户量产线上的累计产量已超过20万片次，是为高阶湿法设备国产替代进口的重要里程碑。目前公司是国内单片硫酸设备达到上述单机台量产指标的唯一厂商。3、请问贵司是否具备7nm芯片先进制程流程中的设备，最近国产5g芯片

4、的推出，是否会加速贵司先进制程设备的国内市场普及？答：公司湿法清洗设备可覆盖28纳米全工艺工序段并有重复订单，在14及7纳米制程也有数台订单交付客户。随着下游客户在先进制程中的进一步发展，公司在先进制程中的重点产品将有望放量。4、请问贵司在半导体材料领域的布局有哪些?是否已经具备商业能力？答：公司从系统集成延伸至盈利能力更强的材料端，2022年初建成国内第一座电子级大宗气供应工厂，目前已稳定运行一年多，每年可贡献稳定的营收，这是国内完全自主建设的第一座ONSITE大宗气供应工厂，公司继续会在电子气电子化学品方面拓展业务及品类，增加电子材料端的业务投入。5、请问定增的三大项目，继续实施的有哪些项

5、目？公司大概何时才能释放百亿订单的产能?答：公司对于跟动下游先进制程的研发与制造的项目仍然会继续实施，对现有产能的扩产会延缓进行。公司目前产能提升已完成，订单放量根据下游客户产线建设节奏而定。6、想了解一下跟华为合作的具体情况答：国内头部客户与公司均有合作，包括您提到的客户，我们主要提供系统集成业务和制程设备机台。7、贵司是否参与到华为国产5g芯片的研发、合作？答：公司一直跟动下游客户进行研发、制造，在半导体先进制程阶段公司也已有部分重点产品。公司湿法清洗设备可覆盖28纳米全工艺工序段并有重复订单，在14及7纳米制程也有数台订单交付客户，公司在湿法清洗领域可实现国产替代。8、对于贵司子公司波汇

6、科技未来的规划是怎么样的？波汇科技的业绩一直不如人意，是否会进行转型？波汇科技在光通信模块领域的技术储备有哪些？答：波汇科技主要从事光传感器及光电子元器件的研发、生产及销售。其中所从事的光传感器业务主要为光纤传感器，为光传感器市场的细分领域，主要应用于电力、石油管路、智慧城市等领域；所从事的滤光片、激光管帽等电子元器件主要应用于光通信领域。波汇科技业务稳定，未来将继续耕耘其主营业务。9、刚刚在说明会的资料中有提到，贵司在N+2的工艺节点已经实现了技术覆盖，另外在后段有机物清洗，单片磷酸，晶圆边缘刻蚀和FIN刻蚀后清洗等4个项目已经有出机或在产。请问一下，这4个项目目前提供给哪一位客户？答：公司

7、湿法清洗设备可覆盖28纳米全工艺工序段并有重复订单，在更先进的28纳米以下制程有数台订单交付客户。公司所服务的客户主要为国内逻辑领域头部客户。10、董事长，您好。作为公司的决策者以及领头人，贵司未来的发展方向是如何的？贵司在行业里的地位如何？贵司是否有与上下游友好协作、发展的能力，共同打造一荣俱荣的产业链闭环？贵司未来是否有向国际市场发展的愿景？答：近年来，美国持续不断的科技封锁，推动着国际半导体产业链的“脱钩断链”。在复杂的国际背景下，国内半导体产业自主可控的需求迫切，国家对半导体产业的支持和战略意义的确定，正是国内集成电路行业历史性的发展机遇。国内集成电路企业自主创新能力将不断提升，加强与

8、上下游产业链的协同合作，通过产业链整合提高效率，降低成本，从而建设完善的产业生态系统，通过合作共赢，构建产业生态循环，实现企业和产业的共同发展。公司上市以来，六年时间，在配置到来自社会宝贵的资源后，加大了“同心能力圈发展，往深处走，往难处走，往空白处走”的战略演进,主旨还是围绕公司高层在2005年就提出的LAB2FAB的战略，关注核心工艺，服务关键制程，将产品布局到集成电路用户全生命周期。我们通过在高纯工艺支持设备及系统20多年的耕耘，外部积累了长期用户，内部积累了专业务实以客户为中心决策和执行的团队。我们的高纯工艺业务，实则是用户核心工艺的一部分，我们设计制造和建设的高纯气体设备及系统，服务

9、于用户扩散、刻蚀、成膜、注入等干法工艺，我们设计制造和建设的高纯化学品设备及系统，服务于用户湿法各种工艺。我们在高纯工艺已经是国内领头专业厂商，持续服务于国内一线集成电路用户。在此优势基础上，公司选择了往更加难度大空白点多的工艺机台延伸。工艺机台领域，公司从资源和市场考虑，决策了投入资源开发湿法四个平台全工艺覆盖，对标日系该领域最大厂为追赶目标,努力成为国内湿法新增需求市占率第一，并能参与全球竞争，目前湿法机台已经基本完成大部分工艺的验证进入上量阶段，并且公司在过去两年投入专项工作小组帮助本土上游供应链培养工作，在知识产权自主的基础上，进一步准备好供应链自主，为服务于本土用户的发展步伐打好了基

10、础。上述系统集成和工艺机台服务于客户建设投产期，在客户稳定生产运营期，公司布局了电子材料及服务业务，搭建了帮助用户进行工艺开发的平台，以及当前外围局势下很好地服务于本土供应链模块及部件的验证平台。电子材料领域我们已经建成28纳米节点12英寸集成电路制造工厂的国产第一座大宗气站，大宗气站是紧贴客户FAB厂的现场供气工厂，我们的运营体系和运营团队将在现场完成至少15年的供应服务，是一个长期和稳定的增量业务，公司目前在这一领域具备先发优势及较强的竞争力。从单一服务于用户在资本开支阶段的主营业务，到现在能服务于用户“建设及爬坡期+量产期+技术升级”的全生命周期，公司实现了在2017年提出的“新征程下关注市场发展、客户需求变化，从商业机会的把握角度，从客户资本开支到稳定运营阶段提供一系列产品及服务”的布局，为公司持续健康的增长奠定了好的基础。我们正在努力成为集成电路国产替代的国内领军企业。