GMS系统介绍.pptx

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1、气体监控系统介绍GMS教育训练1、特气供应系统引言-特气供应系统概述1.1-气体的分类1.2-特气供应系统1.3-BSGS简介1.4-GC/GR简介1.5-VDB/VDP简介1.6-VMB/VMP简介 引言、特气供应系统概述 在目前生产工艺较为先进的半导体晶圆代工厂的制造过程中，大概需要使用50种不同种类的气体。一般把气体分为大宗气体（Bulk Gas）和特种气体（Special Gas）两种。 大宗气体一般指集中供应及用量较大的气体，涵盖制程用气如PO2、PH2、Ar、PHe 及非制程用气CDA、GN2等；特种气体指用量较少且有一定危害性的气体，如易燃易爆气体SiH4、PH3等 所以针对工业

2、用气中气体特性及用处的不同，需要设计出不同的气体输送系统来满足不同设备的需求，本章我们就集中介绍特殊气体供应系统。 1.1、气体的分类 半导体制造业等相近行业所使用的气体一般按其使用时的特性（图1-1）可分为五大类 图1-1 气体的分类1.1、气体的分类 毒性气体（Toxic Gas） 工业用气中很多是对人体有害、有毒的。其中又以AsH3、B2H6、PH3等的毒性最大，它们的阀限值（TLV：Threshold Limited Valve）分别只有50ppb、100ppb、300ppb.这些气体在空气中允许的浓度及微，因此在储存、运输及使用中都需特别小心。一般都需采用特定的技术措施来控制使用这些

3、气体。腐蚀性气体（Corrosive Gas） 这些腐蚀性气体通常也具有较强的毒性。腐蚀性气体一般在干燥状态下不容易腐蚀金属，但是一遇到水就有很强的腐蚀性，如HCL、HF、SiF4、WF6等等。易燃性气体（Flammable Gas） 把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这一类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当温度达到一定时，PH3和B2H6等气体也会产生自燃。可燃、易燃气体有一定的着火燃烧爆炸范围，及上限值与下限值。此范围越大的气体，其爆炸燃烧危险性就越高。如B2H6的爆炸上限为98%，下限为0.9%。1.1、气体的分类惰性气体（Inert Gas） 惰性气体本省一般不会直接

4、对人体产生伤害。在气体运输过程中在安全上没有以上其他几种气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间发生泄漏会使人窒息而发生伤亡事故。氧化性气体（Oxide Gas） 这类气体具有较强的氧化性，一般同时还有其他特性，如毒性或腐蚀性等，属于这类气体的如CL2、O2、CLF3等。1.2、特气供应系统 高 纯工业气体供应方式一般有多种，如现场制气，用管道输送供气，槽车输送供气，外购钢瓶或者钢瓶组输送供气等。具体采用哪种方式公司，设计人员主要考虑的因素是工厂的生产规模和用气需求及周边地区的气体供应情况等。综合所有条件经过认真的技术及经济比较后方可确定。我们的设计原则是既要做到确保供气的质量、运行管理方

5、便，还要降低产品的生产成本，以便安全、可靠、高 效地供应气体。 对于特种气体的供应方式，目前应用最为广泛的是采用外购气体钢瓶或钢瓶组来输送供气。因为它具有投资较少，使用方式灵活的优点，电耗及制气成本也相对比较低廉。但在气体输送的过程中气体比较容易烧到污染，这就要求整个供应系统得到严格的管理及维护。 1.2、特气供应系统 图1-2 特殊气体供应流程图1.2、特气供应系统 气瓶柜一般分区域的设置在主厂房的一楼的气体房内，在气体房中技术人员要进行钢瓶更换及日常维护保养工作。对于毒性气体还要求有各种废气处理装置（Scrubber），以便及时处理各种作业过程中产生的有毒气体，处理后的尾气在进入中央处理装

6、置（Central Scrubber），已确保工作环境的安全。 特殊气体从气瓶出发，先经过各种阀、配件以及压力调节器等，由特殊气体输送管道供应到位于厂房二楼SubFab或者洁净室的多个阀分配箱（VMB：Valve Manifold Box)中。然后再由VMB的各个Stick点供应到生产区域的设备使用。而用气设备的尾气也还要进入现场尾气处理装置（Local Scrubber）进行处理。1.3、BSGS简介 BSGS即Bulk Special Gas System，针对有些气体的用量很大，为了减少更换钢瓶的频率，减少运营成本。设计者会考虑使用BSGS。其系统构成请见图1-3图1-31.4、GC、G

7、R简介：气柜或BSGS等供气设备在SGS系统主要用于给气体需求设备供气。：一般气柜分为全自动式或半自动式及手动式三种。全自动式气柜一般都有PLC控制，半自动式气柜一般为纯电路控制。手动式气柜一般为非电路控制；BSGS设备一般都有PLC控制。：气柜或BSGS等供气设备都属于SGS系统，客户为运营的方便一般都将SGS系统的设备信号采集到GMS系统中。全自动式气柜和BSGS设备都有PLC控制，GMS系统可通过抓取供气设备PLC的通讯或抓取供气设备PLC的信号点来实现通讯和监控。 半自动式和手动式气柜只能通过直接抓取供气设备仪表自身的信号来实现监控。一般GMS系统抓取供气设备的管路压力信号，气动阀的阀

8、门状态信号，以及磅秤信号等。：使用网络线将供气设备信号传送到上层网络中，或用控制线直接将供气设备的信号连接到GMS系统中的PLC上。1.4、GC、GR简介图1-4GC即Gas Cabinet,气瓶柜/GR即Gas Rack，气瓶架1.5、VDB、VDP/VMB/VMP 简介图1-5VDB即Valve Distribution Box、VDP即Valve Distribution PanelVMB即Valve Manifold Box、 VMP即Valve Manifold Panel1.5、VDB、VDP/VMB/VMP 简介图1-5：多管路阀箱VMB&VDB&MIB&JVB等供气设备在SGS

9、系统主要用于给气体需求设备供气，将从气柜出来的供气管路分成若干只管路，供气给下游设备。：一般多管路阀箱等设备分为全自动式或半手动式两种。全自动式设备一般都有PLC控制，手动式设备一般为非电路控制。：多管路阀箱等供气设备都属于SGS系统，客户为运营的方便一般都将SGS系统的设备信号采集到GMS系统中。全自动式设备都有PLC控制，GMS系统可通过抓取供气设备PLC的通讯或抓取供气设备PLC的信号点来实现通讯和监控。手动式设备只能通过直接抓取供气设备仪表自身的信号来实现监控。一般GMS系统抓取供气设备的主管路或主管路加分管路压力信号，主阀或主阀加分阀的阀门状态信号等。若气体为加热式气体，还可将管路加

10、热温度信号传送到GMS系统中。：使用网络线将供气设备信号传送到上层网络中，或用控制线直接将供气设备的信号连接到GMS系统中的PLC上。2、气体侦测系统 引言-气体侦测系统简介 2.1-侦测器的作用与简介 2.2-报警灯的作用与简介 2.3-紧急停止按钮的作用与简介 2.4-PLC的作用与简介 2.5-SCADA的作用与简介引言、气体侦测系统概述UPS UnitPLC UnitCom Converter UnitSGS System UnitGDS System UnitOther System UnitCommunication UnitDisplay Unit图2-1 气体监控系统引言、气体

11、侦测系统概述 气体监控系统(GMS)主要包含特制品气体设备监控(GIS)和气体侦测系统(GDS)。 对于气体供应系统(SGS)而言，气体监控系统为其正常运作提供了一整套安全监控功能。所有涉及到气体供应系统的监控信息都将被整合到独立管理控制和数据分析系统(SCADA)中。 优化后的软件提供了一套及其简易的模式进行人机界面操作(HMI)。 而且，气体监控系统有能力完成多项远程控制功能，例如远程启动报警单元(LAU)，远程关闭供气设备(RSD)等。 根据系统的功能划分，气体监控系统还可分为自动型和非自动型。 创建一套PLC控制单元将实现整个系统的监视和控制功能，另外工程师站电脑完成了SCADA的相关

12、信息显示、气体监控系统相关实时信息显示，并为用户提供了一套简便的操作流程用于完成系统数据分析报告。2.1、气体侦测器的作用与简介：气体侦测器在GMS系统主要用于针对供气设备进行连续不间断的采样分析，判断供气设备是否有气体泄漏。：气体侦测器一般选用电化学泵吸式侦测器，侦测器输入电力24VDC。当侦测器正常工作时，侦测器采样流量达到500mL/min。对于加热式气体需要安装气体加热单元，达到辅助加热功效。侦测器的采样长度一般为30m，具体采样尺寸可参见Midas Manual。：每种气体侦测器都可提供控制单元(PLC)一段报警输出信号、二段报警输出信号，以及仪表故障输出信号。同时气体泄漏读值可通过

13、侦测器本身自带的420mA模拟量输出接点提供给控制单元(PLC)。：气体侦测器一般安装在供气设备上或其附近，以尽量缩短侦测器的采样管路为基准。这样可加快采样的速率也可减少采样泵的寿命损耗。对于防爆区域的侦测器需要配置防爆箱体，达到防爆的要求。对于环境点侦测器的安装，主要考量厂房的排风路径和厂房面积，可参考欧盟标准EN50073-20002.2、报警灯的作用与简介：报警指示灯在GMS系统主要用于指示现场报警情况，由报警灯和蜂鸣器组成，报警灯包含黄色报警灯和红色报警灯。当泄漏报警达到一段报警时，本地报警单元黄灯和蜂鸣器启动；当泄漏报警达到二段报警时，本地报警单元红灯和蜂鸣器启动。 ：报警指示灯一般

14、选用塔式报警灯，报警灯需求电力24VDC，指示灯选用黄色灯、红色灯，蜂鸣器声响需达到80分贝或更高。：每种报警指示灯都可由控制单元(PLC)来控制其起停。一般报警指示灯都需要控制单元(PLC)提供两组信号：一段报警输出信号、二段报警输出信号。：报警指示灯一般安装在供气设备旁边或厂房中显眼位置，方便现场人员在第一时间得知报警的发生。指示灯的排列方式为红色灯在上，黄色灯在下。2.3、紧急停止按钮的作用与简介：紧急切断按钮在GMS系统主要用于远程关闭现场供气设备的气动阀门。当泄漏报警达到二段报警时，中控室人员可对供气设备进行远程手动关闭操作，及时的关闭供气设备的气动阀门。 ：紧急切断按钮一般选用带防

15、护罩型，可防止现场人员误操作。：每种紧急切断按钮都可提供控制单元(PLC)一组无源接点信号。：紧急切断按钮一般安装在中控室内或气体房外墙上，方便现场人员紧急操作。2.4、PLC的作用与简介：PLC控制单元对于气体监控系统而言具有极强的可信赖性。所有的信号都将传输到PLC系统，经PLC处理后传输到人机界面。PLC系统根据人机界面输入的信号可进行相应的联动控制。所有气体监控系统的输入信号、输出信号和设备状态信号都通过控制线缆传输到PLC系统。：高安全性、高稳定性、强实时性、易分布性、可扩展性、可冗余性。：PLC控制单元具有AI、AO、DI、DO、Pulse等信号，可完成所有终端设备的信号传输和控制

16、。PLC控制单元也支持Ethernet TCP/IP、Modbus TCP/IP、Profibus、COM Port等通讯协议，实现终端设备的网络信号的传输。：为PLC控制单元制作控制盘体，保证PLC控制单元的正常运行。将终端设备的信号通过控制线缆或通讯线缆传输到GMS的PLC控制单元上。AI-Analog Input 模拟量输入 AO-Analog Output 模拟量输出 DI-Digital Input 数字量输入 DO-Digital Output 数字量输出Pulse-Pulse Signal 脉冲信号Ethernet TCP/IP-以太网 TCP/IP协议 Modbus TCP/IP-基于Modbus技术的TCP/IP协议Profibus-现场总线技术 COM Port-串行通讯口注2.5、SCADA的作用与简介：系统显示单元(人际界面单元)是整个系统的显示终端，是用户最终面对的一种操作界面。透过人机界面单元，用户将了解到整个气体监控系统相关现场设备的运作情况；同时实时的数据采集刷新、及时的信号报警提示，方便了用户的紧急事件处理。此外，系统提供的数据分析与数据汇总，方便了用