高通量大面积磁控溅射沉积系统采购项目基本情况表.docx

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1、高通量大面积磁控溅射沉积系统采购项目基本情况表一、采购内容及技术参数指标要求(一)具体技术指标要求我室拟采购高通量大面积磁控溅射沉积系统一套,由样品缓冲室、真空溅射室、真空系统、磁控靶系统、电源系统、高通量溅射系统、气路系统、加热系统、自动控制系统、安全保护系统等组成。各部分具体技术指标要求如下:1 .样品缓冲室室为真空泵机组抽气的低真空环境。设置8组样品盘,设备支持8片装的连续生产模式。2 .真空溅射室真空溅射室有四个磁控靶接口,安装四只磁控靶。其中三只直流溅射靶、一只射频溅射靶。溅射室上盖分为四个区,独立自动打开,便于安装、维修、清洗、更换靶材等。至少一只靶与高通量组件可以互换使用,拆下该

2、靶,更换上高通量法兰组件即可进行高通量研究。3 .真空系统真空系统采用大口径复合分子泵、旋片式真空泵将真空室抽至高真空状态。溅射室极限真空度W6.7X10-5pa溅射室工作状态通过薄膜规进行测量,并参与恒压控采用电动插板阀作为压力调节阀,通过高精度薄膜规测量,闭环压力调节控制软件控制,使工气压达到恒定状态,保证工艺稳定性及重复性。4 .磁控靶系统典型样品尺寸380mmX300mmo靶座带有防相邻靶污染的挡板,靶与样品间带有防污筒,以达到防绕射、防相邻靶污染的效果。磁控靶带有内置均匀布气系统。有效镀膜区(380mm300mm)不均匀性W5%。可用于非磁性常规材料和磁性常规材溅射。5 .电源系统设

3、备配置直流电源,可用于金属直流溅射,也可用于直流反应溅射。支持双靶溅射,提高厚膜的溅射速率。配置射频电源,可用于射频溅射介质、非金属、金属化合物、半导体等薄膜。电源功率调节与输出可参与自动化控制。6 .高通量溅射系统系统配两只共聚焦磁控靶,通过对单孔掩膜板的两维精密运动,一次获得不少于25个实验结果(8片装结构可获得不少于200个实验结果)。支持两元材料多层膜高通量研究,两元材料混合掺杂膜的高通量研究。7 .气路系统采用6台质量流量控制器控制6路气体进气(溅射工艺Ar四路;清洗Ar一路;工艺Nz或。2一路)。8 .加热系统溅射室旁有定点加热工位,通过链条运送过来的工件被静止加热。样品盘上方安排

4、灯光加热器,灯管分别独立控温,保证加热均匀性(样品正面加热)。在溅射区域下方,带有四组加热器,独立控温,对溅射过程中的样品进行在线加热。可以进行阶梯升温控制等其他的加热策略。静态加热温度:室温一50(rc。9 .自动控制系统配置液晶显示屏,由鼠标键盘操作,WindoWS风格会话界面。操作者可选择自动及非全自动模式。系统开放工艺编程端口,用户可根据实际使用需求设置不同的工艺参数,即可实现真空系统及工艺过程全自动化操作。系统配有设备运行参数记录功能,可对设备的每一步操作进行数据采集,实时监控设备运行状态。10 .安全保护系统设备设有互锁、异常断电自动记忆、自动工艺编程校验等安全保护措施,使非恶意的

5、人为操作失误不会导致系统硬、软件的损坏。系统支持诸如缺水故障、分子泵故障、通讯故障等故障情况下的自动报警。(二)样品要求无。(三)实施人员要求无。(四)生产及安装调试等要求设备到达买方指定地点后,中标方安排相关技术人员,负责设备安装和调试工作,中标方需要负责设备安装位置与厂方配电箱的电缆、设备与冷却塔之间的循环水管道等材料和连接工作。设备安装调试完成后,形成调试记录,达到招标文件规定及投标文件响应要求后,按买方设备验收资料要求,形成验收报告。(五)供货、安装周期及交货地点要求1 .合同生效后,中标方在8个月内完成供货,交货地点为买方指定的地点。2 .中标方提供设备的各项技术性能指标必须达到合同

6、和技术文件规定的要求,每件包装中应附有详细装箱单以及外购设备的质量证书各1套。3 .设备交货后,中标方应于10日内开始进行设备安装,并于20日以内在指定地点安装调试完毕。4 .设备安装、调试和验收的相关事宜和产生的费用由中标方负责。5 .交货地点:买方指定的地点。(六)售后质保培训等要求L设备制造商有完善的售后服务系统:厂家在接到用户维修请求后,能在12小时内作出维修响应,必要时3个工作日内到达用户现场提供技术支持。2 .保修期为自验收合格之日起12个月,保修期内免费维修,非人为原因损坏的情况下,中标方免费提供配件。保修期外终身提供技术支持以及后期维护服务。3 .免费提供全面技术培训,提供全套

7、用户操作手册及安装维护手册和各种相应说明书。中标方负责对买方人员进行设备操作、维修方面的现场培训工作,形成培训记录。4 .投标人须随投标文件递交所投设备的售后服务承诺书。(七)保密要求本项目采购不涉密。(A)报价要求本设备为国产设备,以人民币报价(含税),报价包含供应、运输、安装调试、技术培训、售后服务、备品备件和伴随服务等价格,价格不因实施期间市场变化及政策调整因素而变化。(九)其他项目个性化要求无。(十)投标(报价)人资质要求1.1符合中华人民共和国政府采购法第二十二条资格条件:具有独立承担民事责任的能力;具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;参加政府采购活动前3年内,在经营活动中没有重大违法记录;法律、行政法规规定的其他条件。L2截止到开标时间,供应商成立时间不少于3年,且为非外资独资或外资控股企业,或为事业单位、军队单位。1.3 单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得同时参加同一包的采购活动。生产型企业生产场地为同一地址的,销售型企业之间股东有关联的,一律视为有直接控股、管理关系。供应商之间有上述关系的,应主动声明,否则将给予列入不良记录名单、3年内不得参加军队采购活动的处罚。1.4 本项目不接受联合体投标。

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