氮化铝基板翘曲度非接触激光在线检测初步方案.docx
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1、氮化铝基板翘曲度非接触激光在线检测初步方案一、问题提出:对于钢性板子的翘曲,一般是指,板子自然申展(除重力之外无其他外力作用)状态的下,表面隆起和凹陷的现象,而翘曲度,则是这种隆起和凹陷现象的程度,既隆起和凹陷之定量分析,下面分析钢性板子翘曲的可能状态。向上隆趣向下凹陷一部份向上翘一部份向下翘针孔状窿起I1或者是上面二种及二种以上之组合从上面的分析可以知道,检测翘曲度可以通过检测板子相对底座的高度来实现。而检测高度又可转换成测量板子和底层的总厚来完成。依据国标对翘曲度的定义,如下:平疗板曲撼片自鳏肺M45。毓过睹融胸醐肝旅勃合毓通过跟方般X耕长奸耕厚度则,翘曲度二(通过间距-基片厚度)/基片长
2、度工程实觐翘曲度二(最大高度-基片厚度)/基片长度则,合格:翘曲度0.002不合格:翘曲度0.003待定:0.002或翘曲度或0.003二、工程解决办法可以通过S型扫描测厚找出最大值,如下图示:可以通过S型扫描测厚找出最大倒三、硬件架构系统组成如下图:囊化貂板翘曲检螂藤统圈四、系统架构激光翘曲度检测与自动分拣系统由上位电脑、真空吸吊机、龙门滑台,十字滑台及夹具、电气控制箱等组成。上位电脑按照程序设定控制真空吸吊机和龙门滑台将待测板件输送到十字滑台上,十字滑台承托基座为一块标准翘曲度底板,待测板件放在标准翘曲度底板上,十字滑台根据上位电脑发出的指令,将待测板件连同底板一起送到激光测厚仪测点上进行
3、测量,然后将测量值减去底板厚度,这样就得到了待测板件上表面测点到底板间的实际距离,上位电脑将测量数据实时存入数据库中,测量结束后把全部数据进行比对和计算,最终得到待测板件的翘曲度。测量结束,真空吸吊机根据测量结果不同,将板件按合格和不合格进行分拣摆放。四、系统工作原理说明1 .上位电脑上位电脑主要配置为:CPU不低于酷睿七代13、硬盘1T、内存8G、机箱为专用工控机箱、电源500W标准输出大功率服务器电源。电脑安装WIN764位旗舰版系统。上位电脑根据用户不同的设置,控制龙门滑台带动真空吸吊机,将不同版型的板件精确输送到十字滑台原点上,然后上位电脑根据用户设定的待测板件版型,调整十字滑台的运动
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