扩散炉能源消耗规范_SJT11451-2022.docx

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1、ICS27.010CCSL97中华人民共和国电子行业标准SJfT114512022代替SJ/T114512013扩散炉能源消耗规范Specificationforenergyconsumptionofdiffusionfurnace2023-01 -01 实施2022-10-20发布中华人民共和国工业和信息化部发布前言范围规范性引用文件III1能源消耗指标计算1能源消耗等级指标134犷2223附录A (附录B术语和定义可比单耗计算方法6.1 可比单耗.6.2 实耗电6.3 合格能源消挪FaJL2M-1刖本文件按照GB/T1.1-2020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起

2、草。本文件代替SJ/T11451-2013扩散炉能源消耗规范，与SJ/T11451-2013相比，除编辑性改动外，主要技术变化如下：了对M的注释,4)：的j)实耗电能量%二级能耗的t担识另U信息彳司提朋涛、张缩空气，更改东，并更改了一增加术语和定义一章（见第3章）；增加了对合格产品的折合增加了表1中三级更改了公式（更改了氧说明增加增3)b)C)d)e)J”（见4.4）；Dg)h)i).2、7.3）；午增加Hz和压缩能耗评价指标,1/投入麻改乳,阴，“投入/改为E5和戊，并公式（见6.2这一列中的1峻电能量公式,、二级能耗的指标值；量&（见6.2,公式（2）；M况”，并更改了对标况的请本文件本文

3、?本文件起草技股份有限公、公司。本文件主要起为李琳。技术标准化研究院归口.京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技中隼时代半导体有限公司、英利能源（中国）院、晶澳太阳能科公司、M京赛西认证有限责任刘月雷、张红妹、张生春、本文件及其所代替文件2013年首次发布为SJ/T114本次为第一次修订。扩散炉能源消耗规范1范围本文件规定了扩散炉能源消耗等级指标、可比单耗计算方法和评价规则。本文件适用于工作温度在400化、退火、合金工艺使用的扩散炉。2规范性引用文件-:3术语（适用间接消耗的电能量之和。扩散炉能源消耗所考察的连续生产的合格产品的折合产量，无论是最终产品、中间产品，还是初扩散炉能源消耗疳标是

4、扩散炉可比单耗是生j 实耗电能量是系统直接消耗4.14.24.34.4GB/GB业行能单便管理通则其最新下列文件中f 仅该日期对应 文件。GB/TX5下歹i3.1可比统计期向勺规范性引用而构成本文件必a rati ve unit consumption4能源消耗指横t算电能量与该扩散炉合格产品的折合产量的比值冲,注日期的引用文件, 的修改单）适用于本且产量为核算单元的可比单耗。级产品，均以单位产品产量为核算单元。为了便于对不同的产品的能耗水平进行比较，对工艺温度不同的产品规定了不同的产品产量可比折算系数（简称：产品折算系数）.4.5扩散炉可比单耗可按统计期进行统计计算，也可按生产周期进行现场测

5、算；其数据的取值应符合GB/T2587、GB/T3484、GB/T12723的规定；使用的能源计量器具应符合GB17167的要求。5能源消耗等级指标扩散炉能源消耗等级指标应符合表1的规定。SJ/T114512022表1扩散炉能源消耗等级指标单位为千瓦时每千克可比单耗4,一级二级三级A*10.010.030.06可比单耗计算方法6.1 可比单耗可比单耗按公式（1）计算:m,式中：bk可比单耗，单位为千瓦时每千克（kWhkg）；E统计期内扩散炉实耗电能量，单位为千瓦时（kWh）,计算方法见公式（2）；m,统计期内该扩散炉合格产品的折合产量，单位为千克（kg）,计算方法见公式（8）。6.2 实耗电能

6、量实耗电能量（E）按公式（2）计算：E=Ei+JE+E+j+f（2）式中：Ei系统（包括控制装置）消耗电能量，单位为千瓦时（kWh）；E2冷却水折合电能量，单位为千瓦时（kWh）,计算方法见公式（3）；E3氧气折合电能景，单位为千瓦时（kWh）,计算方法见公式（4）；乱氮气折合电能量，单位为千瓦时（kWh）,计算方法见公式（5）；E5-氢气折合电能量，单位为千瓦时（kWh）,计算方法见公式（6）；E6压缩空气折合电能量，单位为千瓦时（kWh）,计算方法见公式（7）；冷却水折合电能量Q&）按公式（3）计算：E2=N2（3）式中：2冷却水折电系数，单位为千瓦时每吨（kWht）,当使用自来水时=0.

7、6364,当使用循环水时其折电系数按每吨水的耗电量计算；M冷却水消耗量，单位为吨（t）。氧气折合电能量（及）按公式（4）计算：（4）式中：氏氧气折电系数，单位为千瓦时每立方米（kWVm3）,3=O.99；N3氧气消耗量（标况），单位为立方米（n）。注：标况系标准状况的筒称，即温度为0C、压力为KH325Pa.氮气折合电能量（E）按公式（5）计算：El=S4Na式中:BA氮气（高纯氮）折电系数,单位为千瓦时每立方米（kWhm3）,d=L66;M氮气消耗量（标况），单位为立方米（）。氢气折合电能量（瓦）按公式（6）计算：Ei=iM-（6）式中：i氢气折电系数，单位为千瓦时每立方米（kWhtn3）,

8、8产0.82；M氯气消耗量（标况），单位为立方米（n）。压缩空气折合电能量（Ee）按公式（7）计算：Ns（7）式中：BS压缩空气折电系数，单位为千瓦时每立方米（kWhm3）,j06=O.10；M压缩空气消耗量（标况），单位为立方米（m）。6.3合格产品的折合产量合格产品的折合产量（mz）按公式（8）计算：Wz-（m1T）（8）i-l式中：如一扩散炉各个炉管的合格产品产量，单位为千克（kg）；I一扩散炉的炉管数，；Kr工艺温度可比折算系数，其数值与运行时要求的工艺温度有关，详见表2。表2工艺温度可比折算系数工艺温度T4000CT550550oCT7007000CT850850PVTW100OoC

9、1000oc11501150oCT130013000CT1350Kt1.671.431.251.111.000.910.837能源消耗评价规则扩散炉能源消耗指标划分为3个等级，见表U7.1扩散炉能源消耗统计计算表（见附录A）用于评价能耗等级，现场测试计算表（见附录B）用于检查和自检。M45T2022最大装教量投入/产出项目或温度系数单位折电系数1月2月3*F月8月9月10月11月12月合计电kWh1冷却水tOj（标况）m,0.99表AJ（续）SJ/T1145112022扩散炉名称：统计表编号：NK标况）m,1.66Hj（标况）m,0.82统计数据上年度一年：投入/产出项目或温度系数单位折电系数

10、1月2月3月4月5月6月7月8月9月10月H月12月合计压缩空气（标况）mj0.10合格产品产量kg工艺温度可比折算系数本年度年：投入/产出项目单位折电系数或温度系数1月2月3月4月5月6月7月8月9月10月U月12月合计电kWh1冷却水tOa（标况）m,0.99NM标况）m,1.66H1（标况）m,0.82压缩空气（标况）m,0.10合格产品产量kg工艺温度可比折算系数可比单耗的计算：计算公式计第过程和结果SJzT1145一2022附录B（资料性）扩散炉能源消耗现场测试计算表表A.2规定了扩散炉能源消耗现场测试计算表的样式和记录内容。表B.1扩散炉能源消耗现场测试计算表扩散炉名称：记录表编号：扩散炉属地（省、市、企业、车间）：测试人员：（首位为负贵人）测试人员所属单位：测试期；开始年月日时分时分终止扩散炉参数：编号型号规格额定功率kW最高工艺温度最大装载量kg设计建造单位：投产日期：主要计量器具:编号计量器具名称型号测量范困准确度女装位置周期检定标识12扩散炉运行工况：测试前状况：测试期工况：测试后状况：测试现场环境：温度：湿度：%大气压力：Pa测试有关说明：SJZT114512022SJrr二4512022