硅片清洗操作规程.docx

《硅片清洗操作规程.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《硅片清洗操作规程.docx（2页珍藏版）》请在优知文库上搜索。

1、硅片清洗操作规程目的：为规范清洗生产作业，提高产品质量，确保安全生产制定本规程。范围：清洗所有员工内容：一.预冲洗1 .切片后的晶棒正确放入脱胶槽内2 .用喷头对硅片进行来回清洗，水向为硅片的正上方，水压保持0.20.4Mpa之间，喷头水量需要合理控制，直到硅胶片预冲洗干净为止，时间不能太长。二.脱胶1.A方法：a.关闭脱胶槽排水阀，向脱胶内注入70C热水，水位高于粘胶面Cl.5cm左右，再打开加热开关。B.等待热水浸泡5分钟左右，用手将硅胶片轻轻拨动，直到硅片底部的硅软化，整个硅胶片向一方自然倾倒，拼接棒要倾倒不同的方向，防止混片。B方法：用70C热水对硅胶片正上方来回冲洗，直到片子自然倾倒

2、，拼接棒要倾倒不同的方向，防止混片。2 .过程中要用海绵不停的对粘树脂条的位置给予清洗直至干净。3 .用手轻轻拨动倾倒的硅片，感觉硅胶片已经完全脱落时用手将少量的硅胶片轻轻挪动，轻轻拿起，保证硅胶片安全的脱离胶与玻璃板，然后放入准备好的周转箱内，每次拿片长度在5CM以内（记住：周转箱先注入清水至限位）并做好标识和相关记录。4 .打开排水阀，接着把钢板放到指定位置并将脱胶槽内外清洗干净。三 .插片1 .将插片盒放入插片槽内，向槽内加水淹没插片盒顶部为止。2 .从周转箱拿出少量硅片（2030片/次）左手将硅胶片托住，大拇指将硅胶片一张张分开，右手拿硅片粘胶面正中位置把片插入盒内。3 .插片时力度不

3、能过大，防止硅片崩边，硅落，缺角，破碎等。每盒25片，不允许少插，斜插，多插。4 .同一编号硅胶片插片性数不足25片时，单独插在一起，不可与其他编号的硅片混插，不良硅片要集中插到一个插片盒内，做到一个硅棒只有一个良品尾数和一个不良品尾数，并做好相关记录。5 .适时更换插片槽内的清水，保持槽内干净清澈。四 .超声波清洗硅胶片1 .打开电源，加热，起声载关，槽检查个表盘设定参数是否符合工艺要求。2 .各槽参数设定如下：曹序介质温度C超声功率时间备注一柠檬酸40100%58鼓泡+摆动二纯水45100%58鼓泡+摆动+循环水三药水65-72100%58摆动四药水60-68100%5-8摆动五纯水501

4、00%5-8摆动+循环水纯水45100%58摆动+循环水七纯水35100%58摆动+循环水3.备注：以上参数以硅片清洗干净为基础，操作时间和温度以实际情况而定；不同的药水不同的配比以实际工艺为准，不可随意更改。出现设置异常，立即通知班长，禁止未经班长或主管允许下私自删除或更改机器程序的参数。4 .提篮从一个槽移至另一个槽时要垂直提取，垂直放下。避免碰碎或造成内裂。特殊情况，片子由未清洗干净的需要在三至六槽，重免清洗。5 .连续生产时时每清洗2000片向三四槽加入两杯的药水，每清洗6000片左右更换一次药水，将放掉一半再注满，并加入相应的药水。五.甩干1 .清洗干净后的硅片连插片盒单个横向装入甩干机内；每个插片盒却不得必须平衡对称放置。2启动甩干时间为5分钟。3 .自动停机后，等内转盘停止转动再将插片盒式一起拿出，并整齐排放到传递桌上，把片盒内的碎片拿出，补齐数量25片/盒，再重复I3步的工作直到硅胶片生产完毕。4 .认真填写相关记录硅片追踪单，记录追踪表，数字要正确，清晰，及时。六.停机：1 .先把“加热”“超声波”“摆动”关掉，最后才可以关掉“电源”开关。2 .平常换水时要先关掉“加热”“超声波”开关，才能打开排水阀。如遇到检修槽子里的水要6小时后才可全放掉。3 .打扫机器及周边卫生。浙江芯能光伏科技有限公司