高真空金属有机蒸发镀膜装置（物电）项目招标文件.docx

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1、公开招标采购文件项目名称：高真空金属有机蒸发镀膜装置目录第一章公开招标采购公告第二章项目技术及服务要求第三章投标人须知第四章评标办法及评分标准第五章采购合同主要条款第六章投标文件格式附件第一章公开招标采购公告根据中华人民共和国政府采购法政府采购货物和服务招标投标管理办法等规定，经浙江省财政厅2023】51474、【2023】51472号确认书批准,现就我校高真空金属有机蒸发镀膜装置项目进行公开招标采购。本次招标采用电子交易方式，欢迎符合条件的供应商前来投标。一、项目编号：ZB2023087a二、采购组织类型：分散采购自行组织三、采购方式：公开招标(政府采购电子交易)四、采购内容：标项序号标项名

2、称数量单位备注1高真空金属有机蒸发镀膜装置I台L本项目最高限价：30万2.详细技术参数见第二章项目技术及服务要求五、合格投标人的资格要求1.符合中华人民共和国政府采购法第二十二条和浙财采监【2013】24号关于规范政府采购供应商资格设定及资格审查的通知第六条规定；2.截至投标截止时间，投标人未被信用中国(WWW.creditchina,)、中国政府采购网(WW)列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单，且尚处于禁止参加政府采购活动期内。3.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目为面向中小企业采购的项目。须满足政府采购促进中小企业发展管理办法(财库(202

3、0)46号)第二、四条规定。浙财采监(2019)8号文件规定，监狱企业、残疾人福利性单位视为小微企业。4.本项目不接受联合体投标。六、招标文件的获取：1.获取期限：自本公告发布时间至投标截止时间(以供应商完成获取招标文件申请后下载招标文件的时间为准)。2.获取地点：浙江政府采购网(http:zfcg.czt.zj.gov,cn)3获取招标文件方式：“浙江政府采购网”在线获取。本项目不提供纸制版采购文件，供应商通过浙江政府采购网”本项目公告下方选取潜在供应商处获取采购文件；供应商只有在浙江政府采购网”完成获取采购文件申请并下载了采购文件后才视作依法获取采购文件，否则投标将被拒绝。供应商通过“浙江

4、政府采购网”本公告下方游客，浏览投标文件”下载的招标文件仅供浏览，不视作依法获取招标文件，投标将被拒绝。4.招标文件售价：免费提供5.投标保证金：无。七、投标截止时间：2023年11月14日9时八、投标文件递交地点和要求1.电子加密投标文件：政府采购云平台（https:WwW）在线投标。2.电子备份投标文件”：供应商可以在投标截止时间前递交以介质（U盘）存储的备份投标文件”（一份），以EMS、顺丰邮寄递交至。“电子备份投标文件”应当密封包装并在包装上标注采购项目编号、项目名称、投标单位名称等并加盖公章（详见附件）o没有密封包装或者逾期送达至投标地点的“备份投标文件将予以拒收。九、开标时间及地点

5、（网址）：本次招标将于2023年11月14日9时在浙江师范大学行政中心北楼127室开标，投标人在线（政府采购云平台https:Www.zcygov.Cn）参加开标。十、本次招标有关信息发布媒体：浙江省政府采购网（）和浙江师范大学采购中心网站（http:/）十一、公告期限：自本公告发布之日起5个工作日。十二、其它补充事项：1.浙江省财政厅关于进一步发挥政府采购政策功能全力推动经济稳进提质的通知（浙财采监（2022）3号）、浙江省财政厅关于进一步促进政府采购公平竞争打造最优营商环境的通知（浙财采监（2021）22号）已分别于2022年1月29日和2022年2月1日开始实施，此前有关规定与上述文件内

6、容不一致的，按上述文件要求执行。2.供应商认为采购文件使自己的权益受到损害的，可以自获取采购文件之日（采购文件公告期限届满之前获取采购文件的，以完成获取采购文件申请后下载采购文件的时间为准）或者采购文件公告期限届满之日（公告发布后的第6个工作日）起7个工作日内，以书面形式或通过政采云平台向我中心提出质疑。质疑供应商对我中心的答复不满意或者未在规定的时间内作出答复的，可以在答复期满后十五个工作日内向学校采购管理办公室或同级政府采购监督管理部门投诉。3.根据浙江省财政厅关于进一步促进政府采购公平竞争打造最优营商环境的通知（浙财采监（2021）22号）文件关于“健全行政裁决机制要求，鼓励供应商在线提

7、起询问，路径为：政采云-项目采购-询问质疑投诉-询问列表；鼓励供应商在线提起质疑，路径为：政采云-项目采购-询问质疑投诉-质疑列表。质疑供应商对在线质疑答复不满意的，可在线提起投诉，路径为：政采云-项目采购-询问质疑投诉-投诉列表。质疑函范本、投诉书范本请到浙江政府采购网下载专区下载。4.未按招标公告规定依法获取招标文件的潜在投标人不得对招标文件提出质疑、投诉。5.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务后不得再参加该采购项目的其他采购活动。6.本项目执行节能产品政府强制采购和优

8、先采购政策，执行环境标志产品政府优先采购政策。7.电子交易说明（1）本次采购采用电子交易方式，电子交易平台为政府采购云平台（WwW）”。供应商参与本项目电子交易活动前，应注册成为政府采购云平台供应商。编制电子投标文件前还需申领CA证书并绑定帐号。供应商应充分考虑完成平台注册、申领CA证书等所需的时间。CA数字证书办理流程详见浙江政府采购网一下载专区一电子交易客户端”相关版块。（2）供应商编制电子投标文件应安装电子交易客户端”软件，并按照本采购文件和电子交易平台的要求编制并加密投标文件。未按规定加密的投标文件，将被电子交易平台拒收。“电子交易客户端”请供应商自行前往浙江政府采购网一下载专区-电子

9、交易客户端”相关版块获取。（3）供应商应当在投标截止时间前，将电子交易客户端生成的电子加密投标文件”上传电子交易平台。（4）电子备份投标文件”是指与电子加密投标文件同时生成的数据电文形式的投标文件。供应商在电子交易平台上传“电子加密投标文件后，还可以邮寄方式在投标截止时间前提交以介质（U盘）存储的“电子备份投标文件。电子备份投标文件”应当密封包装并在包装上标注采购项目编号、项目名称、投标单位名称等并加盖公章。（5）开标时，通过“政府采购云平台递交的电子加密投标文件如无法按时解密，供应商提交了“电子备份投标文件的，则由我中心按“政府采购云平台”操作规范将“电子备份投标文件”上传至“政府采购云平台

10、，上传成功后，以电子备份投标文件参与评标，“电子加密投标文件自动失效。供应商未按规定递交电子备份投标文件”的或非我中心操作原因引起的不能取读U盘电子备份投标文件”的，视为投标文件撤回。未上传“电子加密投标文件，仅提交“电子备份投标文件”的，投标无效。（6）供应商在参加电子交易过程中，可登录政采云（https:W）帮助文档”版面获取电子交易管理操作指南，有疑问，可点击右侧咨询小采，获取采小蜜智能服务管家帮助，或拨打政采云服务热线获取热线服务支持。CA问题联系电话（人工）：汇信CA：天谷CA。十三、联系方式第二章项目技术及服务要求一、项目要求项目名称高真空金属有机蒸发镀膜装置采购内容详见设备清单单

11、位及数量详见设备清单主要功能及用途1.设备需配置6组蒸发源，组合配置灵活，具备多源共蒸、单层蒸镀、分层镀膜等功能。2.广泛用于有机、无机钙钛矿太阳能电池/锂电池及OLED薄膜等研究系统。3.广泛应用于纳米薄膜光电子器件制备及生产线前期工艺试验等。产地要求本项目采购货物须为中华人民共和国境内生产（不含港澳台地区），不允许采购进口产品。二、设备清单序号设备名称单位数量备注1高真空金属有机蒸发镀膜装置台1三、技术需求表功能要求必要功能al、具备单层蒸镀、多源共蒸、分层镀膜等功能，特别是需具备多源共蒸功能；a2、具有蒸镀无机及有机载流子传输层、钙钛矿薄膜、金属电极等功能:辅助功能bl、该蒸镀装置能够与

12、手套箱环境无缝对接融合，为以后实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接提供基础条件；b2、能够用于有机、无机钙钛矿太阳能电池/俚电池及OLED薄膜等研究；b3、广泛应用于纳米薄膜光电子器件制备及生产线前期工艺试验等。性能及技术指标主要技术指标cl、真空系统：复合分子泵+机械泵+高真空插板阀高真空系统，“两低一高数显复合真空计；C2、有机/金属镀膜室采用不锈钢制作,配有前、后门，前门水平滑开式（采用内置滑轨结构），材质为锻铝；后门为常闭门，便于设备清理维护:c3、膜厚控制系统：晶振膜厚仪一套，参数如下：厚度和速率分辨率：0.015A；膜厚范围：0.0099.99KA；测量间隔：0.1-1.0S（可调）

13、；显示速率：0.01A/s；配备4信号输入,4源输出，16I/O输入和19继电器输出标配四路测量通道；%VGA活性点阵彩色LCD显示器且配备中文操作界面；可贮存100个工艺过程，1000个膜层，50个膜系；多传感器监测源材料，提供精确的源分布监测，工艺过程可存储数据到PC；原厂水冷探头4套，水平型，长度可调203-70Omm,带CF40金属精密封法兰；振荡器4套，含15Cm和3mBNC连接线；支持共镀膜，可实现多源速率和厚度同时在线监测和控制，且每蒸发源显示的蒸镀速率和厚度不受其他源干扰。c4、真空指标：极限真空优于5.OX105Pa：抽速：从大气抽至5.010,Pa40min：关机12小时W

14、IOPa（新设备空载，极限真空后关机）：c5、2组金属蒸发源，4组Pn）控温束源炉有机蒸发源，蒸发源特点：蒸发速率可控；配多组气动挡板及源间防污隔板；c6、直流蒸发电源1台；PID控温有机蒸发电源4台，具有手动和自动模式可实现一键启动或停止自动控制功能；C7、控制方式：采用PLC+液晶屏+工控机全自动控制；c8、报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。次要指标dl、基片台：抽拉式结构；配有气动基片台挡板：基片台电机驱动，旋转速度040转/分钟可调，蒸发源到样品可调节；d2、提供使用说明书、维修手册等纸质材料，筲舟、车旦舟、石

15、英生堪若干，可根据用户要求定制掩膜板2套；d3、产品质保期为一年，质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）；质保期内由于设备本身原因而引起的零配件（易损件除外）的更换，其费用由供方公司承担。验收条件及标准成膜均匀性：有机材料蒸镀（W+3%）；金属材料蒸镀（W+3%）；共蒸时，蒸发源显示的蒸镀速率和厚度不受其他蒸发源干扰。验收方法及方案学校组织专家按照合同规定进行验收或送有关部门进行检测等。注：1.上述技术参数为本次招标的基本要求.考虑到品牌间的差异，个别专业术语的命名不一致，允许各投标单位以各自的专业术语响应.2.投标人参加投标的核心设备为相同品牌产品且通过资格审查、符合性审查的，按一家投标人计算.3.投标人须提供核心设备生产厂商的出厂技术参数配置表彩页（或中文技术参数说明书，或