分辨力板校准规范.docx

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1、OF中华人民共和国国家计量技术规范JJFXXXX-XXXX分辨力板校准规范Ca1.ibrationSpecificationforReso1.utionTargetXXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施国家质量监督检验检疫总局发布JJFxxxxxxxx代替JJG827-1993分辨力板校准规范Ca1.ibrationSpecificationforReso1.utionTarget归口单位：全国光学计量技术委员会主要起草单位：中国计量:科学研窕院广东省计量科学研究院中国计量科学研究院参加起草单位：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所湖北省计量测试技术研究院深圳市计量质量检测

2、研究院本规范委托全国光学计生技术委员会解释本规范主要起草人：李飞（中国计量科学研究院）孙双花（中国计量科学研究院）朱建平（中国计量科学研究院参加起草人：崔岩梅（中国航空工业集团公司北京长城计量:测试技术研窕所）徐迅（湖北省计量测试技术研究院）李向召（深圳市计量质量检测研究院）目录引言Ii1范围12引用文件13概述I4计量特性34.1 基线间距允差34.2 线宽允差34.3 线条中心间距允差44.4 B型分辨力板的楔角偏差44.5 光密度差或对比度55校准条件55.1 环境条件55.2 测量标准及其他设备55.3 项目和校准方法56.1 校准项目66.2 校准方法67校准结果表述IO8其校时间间

3、隔I1.附录A线条中心距偏差校准不确定度评定示例12附录B分辨力板校准原始记录格式14附录C分辨力板校准证书内页推荐格式16引言JJFI(X)I通用计珏术语及定义B、JJFIO59测域不确定评定与表示和JJF1071国家计量校准规范编写规则共同构成支撑本规范编订的基础性系列规范。本规范为JJG827/993分辨力板检定规程的修订。与827-1993相比，除编辑性修改外，本规的主要技术变化如下：原检定规程修改为校准规范：一一调整了概述，删除了A型分辨力板宽度、长度及基线间距的描述及允差要求，增加了两种更为常见的分辨力板的说明，增加了分辨力板的对比度、空间频率的描述：一一删除A型分辨力板两对基线间

4、距相互偏差的允差要求：-一删除了基线的允许对称偏差及对毛坯中心的允许对中误差；一一减少了线条宽度允差所要校准的板号和堆元号，调整了其校准方法：一一增加了线条中心间距允差所要校准的板号和总元号，调整了其校准方法：一一增加了测微亮度计法校准分辨力板明暗线条对比度的方法：增加了校准记录推荐格式、校准证拈(内页)格式等。分辨力板准规范I范围本规范适用于分辨力板的校准。2引用文件本规范引用了下列文件：JJF1071*国家计量校准规范编写规则GB139622005光学仪器术语GB/T19953-2(X)5数码照相机分辨率的测属GBZT6161-2008缩微摄影技术ISO2号解像力测试图的描述及其应用凡是注

5、日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。3概述分辨力板主要用于测量光学零部件、望远系统、显微镜、投影物镜、照相机及数码相机、缩微系统等的分辨能力。由于各类系统的应用不同，工作条件不同，要求不同，所以设计制作的分辨力图案在形式上也不一样，分辨力板按照图案形式分为有以卜.几种常见形式。1)型分辨力板即符合ZBN35003-89标准的分辨率板，A型分辨力板的图案由线宽递减的25个线条组合单元，菱形图案，以及两对短线标记组成(见图I)A型分辨力板相邻两单元的线条宽度的公比为1产&A型分辨力板的每一条线组合单元均由相部4成45的4组明

6、暗相间的平行线条组成。一套A型分狭力板通常由AM,七块分跳力板组成.2)B型分辨力板B型分辨力板的图案如图2所示，为明晤相同的楔形线组成的圆状辐射形图案。套B型分辨力板通常由三块组成，有时也独立应用。图IA型分辨力板的图案图2B型分辨力板的图案3)USAF1951分阴力板USAF1951分辨力板图案如图3所示，美国空军1951年分辨力测试图案在国际上是检测垂直与水平分辨力的比较通用标准，是符合M1.STD-150A标准的分辨力测试图案，由美国空军于1951年创建。O123456三,J,i三:E1.1.1.E1.1.1.E1.1.1.三1.1.1.三IIIB:H1.=郭F川三三1.1.1.-HI

7、=，11-456O331瞌产心龄37g1.uaugIII三1IIIIBIB三图4缩微系统ISO2号测试图图3USAF1951分辨力板4)缩微系统ISO2号分辨力板图4为缩微系统ISO2号分辨力测试图案，分辨力梯级序列从1.O开始，依照GBT321.-25给出的R20系列优选值外列，除了上述几种分辨力板外,还仃北京电影机械研究所的SH-I型摄影镜头分辨力测试板，符合ISO12233标准的分辨力板。随着技术的发展和应用需求的不断提爵，分辨力板包括正片（深色图案，透明背景）和负片（深色背景,透明图案）两种类型正片适用前向照明和普通应用，负片适用于后向照明以及高强度照明应用。除了透射型分辨力板外,还出

8、现了反射型分辨力板。无论分辨力板图案形式如何变化，分辨力图案总是有如卜.基本特点：I）明暗线之间的透（或反）射比分布均为方波分布。通常分辨力图案是高对比图案，即对比度/-/C=ISE_1.2.（1）Ii+m式中，/3和/“分别为分辨力板来亮暗条纹的光强.此时/.“=（）,或者/相对为无穷小垃，则对比度C=I:低对比分辨力图案的4“相对丁7m不可忽略,此时对比度不为1.2）明线线条与暗线线条宽度相同.通常记宽度为历相邻两明（或暗）线条中心间距称为线条中心距.线条中心距等线条宽度的2倍，即有0=2有时分辨力也用空间频率表示，即每充米线对数M单位为m11,也表示为1.P/mm。即有（2）4计量特性4

9、.1 基线间距允差基线间距允差见表I分辨力板号AiA1AaA4ASA7基线间矩（mm）19.29.64.82.41.20.90.6间距允差（m）482412632.21.54.2 线宽允差对于A型分辨力板通常情况下按照表1进行校准。表IA型分辨力板线宽允差要求分辨力板号校准明元号线宽（m）规宽允差（m）I16016-512712A19101101380825404I其他类型分辨力板的线宽通常按照单元号等差递增3号进行校准。4.3 线条中心间距允差分辨力板号校准碓元号线条中心间距（m线宽允差（m）I32016525412A192021013160825804I1608512716A2910151

10、38041806Aa563.55950.44I404A4531.73A5I202Aa1152A7I101.5其他类型分辨力板的中心距通常按照单元号等差递增3号进行校准。如果没有名义中心距通常对所有空间频率的线对进行中心距校准。4.4 B里分辨力板的楔角偏差B型分辨力板的楔角允差为20。4.5 光密度差或对比度明暗线条的高对比光密度差至少大T1.5或对比度大丁094低对比单向密度0.450.55,漫射密度O27-O.37或者对比度约0.5注：以上指标不用于合格性判定，仅供替考.5校准条件5.1环境条件环境温度为(2O3)C,相对湿度不超过85%。分辨力板在校准环境下平衡时间不得少2h,校准仪器在

11、校准环境下平衡时间不得少8鼠5.2测量标准及其他设备5.2.1 放大镜放大镜视觉放大率至少具有6倍：5.2.2 显微镜显微镜至少具有4、10、40倍三个倍率的物镜：5.2.3 工具显微镜或者激光比长仪1)具有影像测显功能工具显微镜：在1(X)mm范围内MPE:0.003mm:至少具有50倍或者50倍以上的显微物镜，使用高倍物镜影像测量功能时MPE：0.5m,2)激光比长仪:MPE为05m5.2.4 万能工具显微镜或投影仪角度MPE:6：5.2.5 密度计或测微亮度计1)密度计：在(0.02.0)时MPE为0.02：2)测微亮度计：亮度MPE为2.5%,线性误差0.5%：在(P5mm的区域内均匀

12、性为0.98的枳分球面光源。6校准项目和校准方法6.1 校准项目61.1.基线间距允差6.1.2 线宽允差6.1.3 线条中心距允差6.1.4 楔角偏差6.1.5 光密度差或对比度注：校准项目根据被校仪器类型及客户需要校准.6.2 校准方法6.2.2 外观及表面侦量检查用6倍放大镜观察分沸力板，分辨力板应标有分辨力板号，单元号：字母，数字和基线上的疵病不得影响使用。选择合适倍率的物镜，用显微镜观察，分辨力板允许有如卜疵病：麻点直径应小于二分之一线宽，暗线上的亮点与亮线上的暗点分别不超过0m和3On,麻点数量在整块分辨板上不得多于10个，每单元内不得多于2个。擦痕宽度小于五分之线宽，最大长度不得

13、大于8m,长度不得大于线条长度，数量在整块分辨板上不得多于4条，每一单元内不得多于2条.线条局部疵病（如缺口,凸形，凹形）宽度不得大于三分之一线宽，长度不得大于两倍线宽，数量在整块分辨板上不得多于10处，每一单元内不得多于2处。明暗线宽差应小于线宽的五分之一。6.2.3 基线间距允差基线间距允差可采用表2中第二列中的工具也可以采用第3列中工具Ai-Ajte工具显微镜激光比长仪A,板工具显微镜影像测量仪+3倍物镜工具显他位影像测量仪+10倍物镜Ae-Ai板工具U做境影像测优仪+SO倍物境校准时，将分辨力板安放在工作台上，更换合适的显微物镜，并谢焦清晰，使得图案基线端头连线与工作台运动方向平行，然后招目镜或图像显示区域分划线对准基线的中心，出零再使分划线对准右边一条基线的中心，得读数。即得该对基线的间距一次测量值，每对基线测量三次，记为S，生，G取三次平均值，即为该基线间距的实测值。按公式（3）计算基线偏差。-基线间距实测值与标称值的偏差，maaf-基线间距的实测值，pm；线条宽度名义值，rn:基线偏差应符合4.2的要求，6.2.4 线条宽度允差采用影像测量功能的工具显微镜或者激光比长仪对分跳力板的暗线条宽度进行校准。校准时，将分跳力板安放在工作台上，将显微物镜更换为50倍或50倍以上物镜，并调焦清晰，使得图案两他端头连线与工作台运动方向平行，然后将P1.镜或图像