三体系- 测量系统分析程序.docx

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1、测量系统分析程序文件类别，二阶文件编号：版本，AO生效日期：制定审核核准文件编号：文件版本：AO等级机密：B级1.0目的明确测量系统贷盘评定的方法，确定测愤系统的适用性、经济性，以检保本公司测愤数据的有效性，为产品放行和过程控制提供依据.2.0适用于公司检蛤、测也和试骁设备的测浆系统分析。30定义3.1 MSA：测盘系统分析,是对每个零件能好重复读数的测量系统进行分析.评定测盘系统的质Sb到新测盘系统产生的数据可接受性.3.2 GR&R：即埴具“重犯性和再现性”的渐”.3. 3重更性：由一个评价人采用一种盘具多次测录同一零件的同一带性时获得的测增值变差.3.1 再现性：由不同评价人采用相同的测

2、价仪器测破同一零件的同特性时，测业平均值的变差。3.5 准确度：束复尿测的平均值与设定值的差.3.6 相密度：盅复测艮时，其母源数据差异的程度.3.7 行测：指在实际测fit环境中,检验员事先不知正在对该刈出系统进行分析,也不知道所测为哪一个产品的条件下进行测琉所获得的测量:结果.1.1 8计帝型与计数型测屈系统：指测量系统测量结果可用具体的连续的数值来表述,这样的测砧系统称为计眉犷测玳系统；测量系统测讨结果用定性的数据来表述，如川通过或不能通过的方式来描述，这样的测M系统称为计数型测量系统，计量型测设系统和计数型测量系统的分析将用到不同的方法.3.9 分辨率：冽麻系统检出并如实指示被测特性中

3、极小变化的能力.3.10 可视辨率：测加仪渊的最小增我的大小.如卡尺的可视分辨率为00211三.3. H有效分辨率：考虑整个溯量系统变差时的数据等级大小。用测量系统变差的置信区间长度将制造过程变龙66或公差划分的等级数盘来表示。关于有效分辨率，在99%置信水平时其标准估计值为1.41PV/GR&R。3.12分辨力：对于单个读数系统，它是可视有效分辨率中较差的。3.13偏向：是测Ja结果的观察平均值与基准值的差（ft.3.14稳定性：是测J让系统在某持续时间内测收同一基准或零件的地一特性时获得的测炭位总变差.3.15线性：是在量具预期的工作范围内.用倚值的差值.4.0权贵实验室负责进行测设备MS

4、A的统筹计划及主导MSA分析。5.0程序内容5.1 执行验证时机和人员：5.1.1 1.1公司内现有仪器i殳备以类别每年执行一次（注：其分瘠率为百分位之仪器设备）.分析范围覆蛊所育合格在用的仲制计划要求做的量具,分析内容覆盅测圻系统五件.文件编号：文件版本：AO等级机宙：B级5.1.2 新购盘具或经维修过的出具投入使用前.5.1.3 新产品开发时或产品规格变更为更严格时.注：需脸证之条件：产品变更属于可城测性的规格误差变更，H.是由大至小（如：土Em变更为土0.5m）不需验证之条件：产品变更属于材质类变更，不需进行验证.5.1.4新测业人员正式上网时，其资格鉴定和培训依人力资源控制程序进行.5

5、.2测量系统中宓性和再现性分析：5.2.1 分析方法5.2.1.1选择23名作业人员、样本K）PCS（需标示号码110）.每名作业人员重复测fit3次。5.2.1.2被测零件从制程中随机取样，以尽可能代衣不同品喷状态的变化。5.2.1.3作业人员需了解测研方法，以准确反映实际情况。5.2.1.1测量仪器的选择：应选择经校验合格的测或仪器，以避免此具睡别力不足，5.2.2测量实施5.2.2.1Ift复性测fit作业员A从1至IO顺序刈fit零件.并制测量结果记录于重红性和再现性数据表3.5.2.2.2再现性测盘：作业员B或C测疥相同零件.不能参考彼此的测出值,并将测眼结查分别圮录于C重红件和再现

6、性数据表B5.2.2.3重更以上循环三次，并记录结果，5.2.2.计算出所要的关键参数，代入热复性和再现性数据赛中进行换算.5.2.3结果分析5.2.3.1 分析标准：GR&RN30%必须要有行动：10%4GIR如果不知道制造过程变差.用规格公差代5. 5.5线性判读准则6. 5.5.1找性程度判读a. R?=l完全相关，点散布在一条直我上。b. R2=0完全不相关，X与丫的变化完全不存在任何依存关系.C.0R21O,拒绝接受。5.5.6如果测量系统有非线性度,要找出可能存在的原因：乩仪器在操作范用的最低或最高端没行适当校准：b.最大最小的标准有误差：c.仪器有磨损：d.仪器内部的设计特性。5

7、. 5.7成性分析记录于【测破系统戌性分析去】,5.6异常处理5.6.1当量具的测量系统分析结果尬于下限时,分析人员的通知制造部门和现场品质主管.5.6.2现场品质主管应对能力不足的量具及其适用性重新评f亿并确定处理对策(包括对已检测产品的处理意见).5.6.3品质经理对测质系统分析报告进行核准，当月定不合格时，测量系统分析人员应对埴具重新进行分析，然后文件编号；文件版本：AO等级机密：BiS采取纠正和预防措魄.6.0相关文件6.1 攵刈量设备控制程序SXYPQD-026.2 质量记录控制程序SX-P-GM-027.0相关记录7.1理复性和再现性数据表AFYP-QDOkOl7.24型复性和再现性分析表F-QP-QDo卜027.34测试设备能力指数（CMK）分析报告，F-QP-QIMH-038.0分发和修改记录文件发放疝出（谙在一分发“框内打J-选择）部门总经办财务部销例部研发一部研发二部OjSJ人力货源部分发WflPMC郃生产却工程部品质仓峰分发0文件修改记求板本修改描述SiHzWiT申梅住准生效日期AO新版发行.文件编号；文件版本：AO等级机密：BiS