GB∕T 25915.3-2024 洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法.docx

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1、ICS13.040.35CCSC70三中华人民共和家标准GB/T25915.32024/IS014644-3:2019代替GB/T25915.32010洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法CleanroomsandassociatedcontrolledenvironmentsPart3:Testmethods(ISO14644-3:2019,IDT)2024-03-15发布2024-10-01实施国家市场监督管理总局电士国家标准化管理委员会发布目次前言I引言II1范围12规范性引用文件13术语和定义13.1 一般术语13.2 与空气悬浮粒子有关的术语23.3 与空气过滤器和过滤系统有关的术

2、语33.4 与气流和其他物理状态有关的术语43.5 与静电测量有关的术语43.6 与测量器具和测量条件有关的术语53.7 与占用状态有关的术语54检测规程54.1 洁净室检测54.2 原理65检测报告8附录A（资料性）支持性检测和清单的选择9附录B（资料性）支持性检测方法13附录C（资料性）检测仪器35参考文献43本文件按照GBT1.12020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件是GB/T25915洁净室及相关受控环境的第3部分。GB/T25915己经发布了以下部分：一第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级；第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测；第3部分：检测方法

3、；一第4部分：设计、建造、启动；第5部分：运行；第6部分：词汇；一第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）；第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度（ACC）等级；第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级；一一第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级；一一第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求； 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁； 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性： 第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性； 第16部分：提升洁净室和空气净化装置的能效。本文件代替GB/T25915.32010洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法，与GB/T2591

4、5.32010相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下： ）第3章术语和定义：一更改术语“离散粒子计数器”为“光散射粒子计数器”（见3.6.4,2010年版的3.6.8）;一增加了“分辨力”（见3.1.5）、“灵敏度”（见3.1.6）和“配有流量计的风量罩”（见3.6.3）;一删除了“大粒子”UM描述符P描述符”“超微粒子”“标准渗漏透过率”“平均风量”“非等动力采样”串级撞击采样器凝聚核计数器计数效率微分迁移率分析仪扩散元件”“伪计数”罩”“硝采样”“等炼样”“粒邰娇僻”阈值f立径”飞行W间l三测量”和“虚拟撞击器”（见2010年版的3.2.4、3.2.5、3.2.11、3.2.12

5、、3.3.10、3.4.2、3.6.2、363、区64、3.65、366、367、369、3610、3611、3612、3.613、3.614、3.615、3616）;b）更改“必测项目”为“一般检测”，并更新了具体内容（见4.1.1,2010年版的4.1.1）;c）更改“可选检测项目”为“支持性检测”，并更新了检测项目（见表2,2010年版的表2）;d）更改“气流检测”为“风速和风量检测”，“气流方向检测与显形检查”为“气流方向检测和可视化”，“隔离检漏”为“围护结构密闭性检测”（见表2,2010年版的表2）;e）更改了压差检测（见4.2.1,2010年版的4.2.3）、风速和风量检测（见4

6、.2.2,2010年版的4.2.2）、气流方向检测和可视化（见4.2.3,2010年版的4.2.5）、自净检测（见4.2.4,2010版的4.2.9）、温度检测（见4.2.5,2010年版的4.2.6）、湿度检测（见4.2.6,2010年版的4.2.6）、己装过滤系统泄漏检测（见4.2.7,2010年版的4.2.4）、围护结构密闭性检测（见4.2.8,2010年版的4.2.10）、静电和离子发生器检测（见4.2.9,2010年版的4.2.7）、粒子沉积检测（见4.2.10,2010年版的4.2.8）;f）删除了空气悬浮粒子计数（见2010年版的4.2.1）;g）增加了隔离检测（见4.2.11）

7、。本文件等同采用ISO14644-3:2019洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法。本文件做了下列最小限度的编辑性改动：-ISO14644-3:2019中表A.1的检测项目“送风速度（单向流）”和“洁净室或洁净区内风速的均匀性（单向流）”与检测程序参照条款B.222和B.2.3不对应，本文件按对应情况做了调整。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会（SAC/TC319）提出并归口。本文件起草单位：吴江市华宇净化设备有限公司、上海科信检测科技有限公司、熙迈（上海）检测技术服务有限公司、中国电子工程设计院有限公司

8、、中电投工程研究检测评定中心有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、北京中瑞高科技产业服务有限公司、深圳天溯计量检测股份有限公司、中国标准化协会、唐颐控股（深圳）有限公司、中国电子系统工程第三建设有限公司、上海市室内环境净化行业协会、北京市医疗器械检验研究院（北京市医用生物防护装备检验研究中心）、中国食品药品检定研究院、上海市食品药品包装材料测试所、中电精泰电子工程有限公司、北京中邦兴业科技有限公司、苏州鸿基洁净科技股份有限公司、上海蔚亚科技发展有限公司、派欧尼尔环境净化工程（北京）有限公司、北京科源顺达建设工程有限公司、持正检测（山东）有限公司、上海市安装工程集团有限公司、湖南瑞邦医疗科

9、技发展有限公司、苏州康启环境科技有限公司、江苏硕世生物科技股份有限公司、深圳市研成工业技术有限公司。本文件主要起草人：陈思源、谭军、郝胤博、王立、高正、谭志坚、杨会英、杨子强、郭凯、王丙信、魏佳鸣、苏建程、宋金辉、孔善平、石霞、徐绍坤、谭莉平、韩辉、曾世清、罗贯翔、彭永昌、王坤、刘中华、贺亦峰、曹晓程、魏兰、郝程、曲明青、万桂波、肖秋贵。本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：2010年首次发布为GB/T25915.32010;本次为第一次修订。GB/T25915采用IS014644系列国标标准，各部分设置与国际标准保持一致，拟由16个部分构成。一第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级。目的

10、是区分粒子污染浓度。一第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测。目的是指导监测粒子污染，以避免可能产生的污染风险。 第3部分：检测方法。目的是指导对洁净室内各种污染和相关环境要素的检测， 第4部分：设计、建造、启动。目的是指导洁净室的设计、建造、启动。 第5部分：运行。目的是指导洁净室的运行。 第6部分：词汇。目的是统一规范技术术语。一第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）。目的是提出洁净室用隔离装置的基本要求。第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度（ACC）等级。目的是区分空气化学污染程度第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级。目的是区分表面粒子污染程度。一第10部分：按化学物浓度划

11、分表面洁净度等级。目的是区分表面化学污染程度。一第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。目的是提出纳米级别的粒子污染的检测要求。一第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁。目的是提出洁净室内表面的清洁要求以避免可能产生的粒子和化学污染的风险。第14部分：按粒子浓度评估设备适用性。目的是通过对相关设备可能在洁净室产生粒子污染的测试，确定设备的适合性。 第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性。目的是通过对相关设备及材料可能在洁净室产生气态化学污染的测试，确定设备及材料的适用性。 第16部分：提升洁净室和空气净化装置的能效。目的是节约洁净室运行的能源消耗。 第17部分：粒子沉

12、积速率应用。目的是通过测量洁净室粒子沉积速率以确定微粒沉积到洁净室易损表面的可接受风险。洁净室及相关受控环境将污染物控制在合适的水平，以便完成对污染敏感的工作。航天、微电子、制药、医疗器械、食品、医疗等行业的产品和工艺受益于对空气污染的控制。本文件并未包含所有洁净室参数的检测程序。GB/T25915.1中提供了按粒子划分空气洁净度等级检测的程序和装置，GB/T25915.12中提供了监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。涉及特定产品和特定工艺的洁净室和洁净区及相关参数的检测程序和所用仪器，在ISOZTC209编制的其他文件中讨论例如微生物控制和检测程序（GB/T25916系列）、洁净室功能性检测（

13、GB/T25915.4）,以及隔离装置检测（GB/T25915.7）。此外，洁净室的检测活动中也可以考虑采用其他适用标准。其他洁净等级属性水平可使用GB/T25915.8（按化学物浓度划分空气洁净度等级）、GB/T25915.9（按粒子浓度划分表面洁净度等级）和GB/T25915.10（按化学物浓度划分表面洁净度等级）确定。洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法1范围本文件规定了支持洁净室和洁净区运行的检测方法，以满足空气洁净等级、其他洁净属性和相关控制条件。性能检测针对的是空态、静态和动态3种任一占用状态下的单向流和非单向流型式的洁净室和洁净区。本文件推荐了测定性能参数用的检测仪器和检测程序

14、。某些检测方法受限于洁净室或洁净区的类型，为此，本文件推荐了若干替代方法。为了满足不同用户的要求，对于某些检测项目，本文件推荐了几种不同的方法和仪器。若供需双方协商同意，也可以使用本文件未介绍的其他替代方法。替代方法未必给出相同的测量结果。本文件不适用于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺。注：本文件未提及与其使用相关的安全注意事项(例如涉及危险材料、操作、设备时)。本文件使者有责任在使前制定适当的安全和健康措施，并确定法规限制的适用性。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最

15、新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。IS014644-1洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级(CleanrOomSandassociatedcontrolledenvironmentsPart11Classificationofaircleanlinessbyparticleconcentration)注：GBT25915.12021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级(ISOI4644-1:2015,MOD)3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1一般术语3.1.1洁净室cleanroom空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间，其设计、建造到运行均使进入、产生、滞留于房间的粒子受控。注1：规定了按空气悬浮粒子浓度划分的级别。注2：对影响洁净等级的其他因素如空气中化学物质、微生物或纳米尺度粒子等的浓度，以及影响表面洁净等级的其他因素如粒子、纳米粒子、化学物质或微生物等的浓度，也可作出规定并进行控制。注3:温度、湿度、压力、振动和静电等相关的物理参数，也可按要求受控。