2024辽宁省科技创新专项申报指南重大.docx

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1、2024年辽宁省科技创新重大专项项目申报指南一、指南说明辽宁省科技创新重大专项是依据中共辽宁省委辽宁省人民政府关于加快推动科技创新的若干看法的要求设置的，实施的重点领域为高端装备制造业，实施周期为2024年-2025年。重大专项旨在提升我省自主创新实力，加快推动经济结构调整和发展方式转变。五年内，力争在高端装备制造领域取得重大突破，驾驭一批核心关键技术，开发一批国内领先、国际先进、市场占有率高的重大高端装备产品，增加企业核心竞争力，促进产学研合作，提高核心部件配套，完善产业链，对我省经济社会发展起重大支撑和引领作用。重大专项以企业为主体，激励企业与高校、科研院所加强产学研合作，开展多学科、跨单

2、位联合攻关。结合我省经济、社会发展需求，依据我省高端装备制造业发展实际，2024年重大专项凝练了7个专项，20个重点项目。二、指南内容专项L核主泵及关键零部件项目LCAP1400屏蔽电机核主泵水力部分研制探讨内容：自主研发CAP1400屏蔽电机核主泵系列关键技术包括：多约束条件下核主泵高效水力设计、结构设计、模型试验及流场PlV测试探讨；核主泵承压边界平安性分析、抗震分析、功能部件平安牢靠性分析与探讨；核主泵水力部件材料疲惫性能、焊接性能、抗腐蚀性能，及材料热处理等基础数据库建立；核主泵承压边界及水力部件制造工艺及使役性能探讨、泵壳水压试验测试系统的开发。考核内容：(1)完成CAP1400屏蔽

3、电机核主泵水力模型的研发及试验验证：技术指标为：额定流量21642m3h(流量范围+4%,-6%)；额定扬程IIlnl(扬程范围2%)；额定转速1480rmin(50Hz),同步转速1500r/min；额定压力17.2MPa；额定温度343；效率不低于85%。(2)建立核主泵承压边界平安性及牢靠性分析方法；建立核主泵水力部件材料性能基础数据库。(3)完成核主泵承压边界部件和水力部件试制。(4)形成20项企业和行业技术标准，申请5项以上独创专利。项目2：CAP1400核电站主冷却剂泵变频调速装置研制探讨内容：针对CAP1400核主泵对变频调速装置的特别需求，探讨大功率变频调速装置功率驱动、水冷散

4、热、电磁兼容及抗震设计技术；快速无转速传感器矢量飞车启动技术；电网同步投切技术；大功率高压级联变频调速系统能量回馈技术；大功率变频调速装置牢靠性设计技术；核主泵变频调速系统牢靠性可利用率分析及故障模式(FEMA)分析技术。考核内容：(1) 开发出CAP1400核主泵变频器样机；(2) 主要技术参数：样机输出电压：0-6kV,输出功率大于8500kW,输出电流大于1120A,效率大于96%；抗震要求为抗震11类；可用率指标大于0.99998,故障模式分析(FMEA)及牢靠性可用率分析；可回馈实力大于额定功率80%；矢量飞车启动响应时间小于200ms；电网同步投切冲击电流小于50%额定电流，切换时

5、间小于2s。(3)在能量回馈限制技术，变压器空水冷散热技术和牢靠性设计技术等方面，申请5项独创专利。项目3：三代核主泵脱落式飞轮研制探讨内容：探讨更平安、更牢靠的三代核主泵飞轮技术。依据额定转动惯量、核主泵装配及特别工况要求进行飞轮本体及其组件的结构设计、力学计算；核主泵飞轮完整性分析;探讨飞轮与转动轴过盈协作量，实现超速时飞轮脱落；飞轮支撑的摩擦磨损、自润滑、抗蚀抗疲惫性能；飞轮本体与组件的精密加工及装配技术；全尺寸飞轮系统运转动态特性试验方法及仿真试验平台搭建。考核内容：(1)开发出SA-5083材料、转动惯量大于3000kgm2的样机，满意设计超速1875rpm,脱离转速2400rpmo

6、(2)氮化硅陶瓷球和PEEK材料滚动体及其保持架具有自润滑与防腐蚀性能。(3)飞轮完整性分析测试及全工况牢靠性分析。(4)形成5项企业技术标准，申请5项以上独创专利。项目4：CAP1400核主泵铸造壳体研制探讨内容:探讨CAP1400核主泵泵壳铸钢件的材料成分、组织，及其力学性能的关系，确定优化的合金成分；开展冶炼工艺探讨，限制氢、氧、氮含量及合金成分，削减一次氧化夹杂，保证钢水的纯净度；对AP1400核主泵泵壳铸件充型、凝固过程进行模拟，确定合理的铸造工艺；制定并优化热处理工艺，保证铸件力学性能和耐蚀性能；探讨CAP1400核主泵泵壳铸件材料的焊补工艺，防止焊接过程中二次相等缺陷的出现。考核

7、内容：(1)完成1台CAP1400核主泵壳样机试制。(2)CAP1400核主泵泵壳铁素体含量限制在F=15-20%,抗拉强度Rm2530MPa,屈服强度RPO.22240MPa,含碳量C0.035%,吨焊条用量WL5,补焊率降低30%。(3)建立CAPMOO核主泵泵壳铸件材料焊接性能、焊接方法及焊后热处理工艺，形成一套核主泵泵壳铸件焊补技术；(4)形成10项企业技术和行业标准，申请5项以上独创专利。项目5：CAP1400核级泵阀铸锻件研制探讨内容：核级泵阀锻件结构工艺设计技术、模具设计技术、锻造工艺设计与优化技术，利用动态仿真，分析模具在锻造过程中的应力分析，优化模具设计、锻造工艺，提高锻造模

8、具运用寿命，制造出符合在核级工况下运用的高性能泵阀铸锻件。考核目标：(1)制造出CAP1400爆破阀材料为SA182M-F316L的2500Lb-DN200用阀体锻件、Inconel690合金剪切帽锻件。(2)建立核电关键阀门锻造材料组织、性能和热加工工艺基础数据库，研发12种抗氧化、耐腐蚀、抗高温蠕变新材料。(3)形成一套关键阀门材料锻造工艺优化技术；(4)形成10项企业技术和行业标准，申请5项以上独创专利。项目6：高性能核级合金锻件探讨内容：针对我国大型先进压水堆核电CAP1400自主研制须要，对核电装备用高性能核级Fe基和Ni基合金锻件材料进行研制。探讨材料成分优化和组织限制技术、材料冶

9、金质量限制技术、热处理工艺参数优化以及材料中低缺陷工艺流程限制技术，制定并优化锻造工艺，保证Fe基和Ni基合金锻件力学性能和耐蚀性能。考核内容：(1)研制胜利核主泵、压力容器、蒸汽发生器、稳压器、主回路管道，以及堆内构件等关键装备用高性能核级Fe基和Ni基合金锻件，形成200吨/年的批量生产实力。(2)建立高性能核级合金锻件组织、性能和热加工工艺基础数据库。(2)研制的高性能核级Fe基和Ni基合金锻件材料满意包括ASTM、ASME,EN、RCC-M.DlN等验收标准要求。(3)形成10项企业技术和行业标准，申请5项以上独创专利。专项2：IC装备项目1：防腐真空集成系统探讨内容：针对14nm立体

10、栅刻蚀工艺对真空获得系统提出的特别要求，突破系统防腐、真空干泵智能限制、系统平安预警、阀门的智能调整、阀门密封等关键技术。探讨开发耐强腐蚀、高精度和快速反应的智能调压真空阀门和高耐腐蚀、高牢靠性、节能的小体积、大抽速真空获得及真空检测等设备及部件，组成智能联动调压防腐真空集成系统。考核内容：（1）开发出智能联动调压防腐真空集成系统。其中，智能调压真空阀门技术指标：漏率IXlO-9mbarls,压力限制精度0.1%,节流和隔断关闭时间6s;干泵技术指标：名义抽速900m3h,极限压力0.2Pa,噪音72dB;（2）材料的耐腐蚀性能探讨和考核指标:预期成果指标名称完成时指标值/状态耐磨耐蚀涂层材料

11、及其涂覆工艺盐雾试验（小时）240结合力试验划格法1级GB-T9286-1998划格法涂层匀称度（Um）10不粘性试验水接触角大于100（3）平安预警性能考核指标:预期成果指标名称完成时指标值/状态平安预警模拟测试干泵故障停机时间阀门自动关闭时间向主机发出故障信号后2-3s停机阀门自动关闭时间6s（4）材料的密封技术及性能考核指标:预期成果指标名称完成时指标值/状态动密封件牢靠性测试牢靠运行时间4000h,泄漏量GOg8000h,泄漏量GoOg静密封牢靠性测试牢靠运行时间8000h,泵组漏率5*10E-6Pa.3s(5)申报3项独创专利，并在考核产品中得到应用。项目2：90nm光刻工艺匀胶显影

12、设备研发内容：研发90nm光刻工艺关键核心技术，突破光刻材料的涂覆工艺和硬掩膜旋涂工艺技术难题，使光刻涂层和硬掩模旋涂技术性能指标达到90nm主流光刻工艺生产线需求；开发前道制程90nm匀胶显影设备工艺试验平台及其考核测试机，完成考核验证，实现示范应用。考核内容：(1)项目产品在300mm晶圆上完成DUV光刻工艺，光刻材料涂覆厚度100nm-400nm、匀称性2%,产能实现100片/小时，满意90nm主流光刻工艺生产要求；(2)通过主流光刻工艺生产示范线的考核评估，完成3台以上项目产品的示范应用，替代进口设备；(3)涂层材料的性能达到：1、运用三层材料后光刻曝光的工艺窗口，在90nm线宽时达到

13、IOonm。2、刻蚀工艺能有效地把光刻胶上的图形转移到衬底上。(4)硬掩模(hardmask)是含C的有机材料(C含量80%),溶剂稀释后，可以旋涂在晶圆表面，然后烘干。这一工艺所要达到的指标：(1)实现100nm-40Onm厚度；(2)厚度匀称性2%。(5)申报独创专利3项。项目3：超大尺寸铝合金零部件特种焊接及湿法表面处理及清洗探讨内容：面对IC装备行业，重点针对PVD、CVD.PECVD.匀胶显影设备等集成电路工艺装备及平板显示装备对大型腔体类零件的特种需求，突破大型腔体类铝合金零部件激光-等离子弧复合焊接及特种湿法表面处理及清洗技术，完成大型腔体类铝合金零部件制造新技术产品研发、验证与

14、批量产业化应用。考核内容：(1)建设完成大型腔体类铝合金零件湿法表面处理及清洗试验线及激光一等离子复合焊装置；(2)腔体零部件满意如下指标外:腔体材料AL6061尺寸公差GB1804-2025A级标准腔室内部采纳连续焊接，外部采纳断续焊接，焊接高度5mm,焊接宽度5mm,长度与间距50mm50mm焊缝尺寸公差GB10854-89标准；焊缝质量均需满意GB12469-1990缺陷1级标准焊缝无损探伤满意GBM1345-891级、JBT6062-20251级及JBT6061-20251级标准检漏漏气率小于IxlO-9Pam3s；腔室极限工作真空度l10,Pa(3)、大型腔体铝合金零件，通过设备商验

15、证；形成相关国产部件的国家系列标准3项，申请专利3项。产品性能达到到国内领先、国际先进水平，替代进口，填补国内空白。项目4：Ie芯片专用全自动激光划片设备探讨内容：以大规模集成电路(IC)芯片半导体硅材料基片为加工对象，攻克激光偏振限制加工、机器视觉瞄准及其限制、模糊限制、多维运动自动限制、误差实时补偿、高精度划切工艺等关键技术，并在考核产品中得到应用。开发出具有自主学问产权的IC专用全自动激光划片系列设备。考核内容：主要指标：划片精度6um,划片厚度范围50LIm-30OUm,划片线宽30HmTOOHnl(与划切深度有关)，最大划片速度100mms,X/Y行程310义31Omnb坐标轴辨别率0.5um,直线度6um210,重复定位精度2um,定位精度5um,工作台幅面310310mmo实现产品示范应用；(3)申报国家独创专利3项以上，好用新型专利4项以上，发表论文4篇以上。专项3：智能型工业机器人项目L虚拟五轴爬行系列机器人探讨内容：针对飞机数字扮装配的特点，探讨虚拟五轴技术与爬行机器人的各种运动限制技术、移动机器人空间定位技术、爬行机器人串并联机械构型和优化等关键技术，开发虚拟五轴爬行